ראו כיצד השבב יוצא מתחנת השטיפה. אסורים להיות סימני מים על השבב. החומר הפוטורזיסטיבי לא יכול לעמוד בשינויים תרמיים פתאומיים. אם המייבש אינו מסוגל להגיע לטמפרטורה הנכונה, האיכות של השבב יורדת – צריך לעשות עוד עבודות תיקון, ועוד סדרות של שבבים נהרסות.
מה קורה ברמה הטכנית? יצרנו את החימום של שבבי MEMS על בסיס אלמנטי חימום שמגיבים במהירות, ושמתאימים לסביבת חדר נקי. העיצוב התרמי מבוסס על קוורץ. החימום מאפשר שמירה על אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C בכל אזור הפעיל של השבב, כך שתהליכי החימום יתבצעו באופן מדויק לפי ההוראות.
ייצור של חלקיקים נמנע באמצעות עיצוב המבוסס על חומרים שאינם משחררים גזים, וכך הרמת החלקיקים נשארת ברמה של Class 1–100. הבקר מתעד את הטמפרטורה באופן מדויק, מה שמאפשר שליטה טובה יותר בתהליך. צריכת האנרגיה נמדדת באופן מדויק, ולא ניתן להעריך אותה באופן כללי. החימום היעיל והבידוד הטוב מפחיתים את צריכת האנרגיה, מבלי לפגוע ביציבות התהליך.
למה זה חשוב בתהליך הייצור? בתהליכי MEMS, שלב החימום קובע את הבסיס לכל שלבי הייצור הבאים. עם מייבש זה, השבב נחמם בצורה יעילה – ללא סימני מים – והחומר הפוטורזיסטיבי נשאר שלם, בזכות שמירה על טמפרטורה קבועה.
התוצאה היא פחות עבודות תיקון, שליטה טובה יותר בממדים של השבבים, וזמני עיבוד צפויים. המייבש מתאים לפעולה 24/7, כך שהזמן הפעיל נשאר קבוע, וההתערבויות הבלתי צפויות נדירות. כשהמשאבים התרמיים מוגבלים, המייבש מאפשר שמירה על התהליך ברמה הנדרשת, בכל סדרה של שבבים.
מה צריך לקחת בחשבון בעת ההתקנה? יש לוודא שהמייבש מתאים לחיבורים הנדרשים. אנו מספקים את המידות וההוראות הנדרשות, אך עדיין יש לוודא שהמייבש מתאים למבנה של חדר העבודה.
המייבש מגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, אך עדיין נדרש זמן מסוים עד שהחדר והשבב יהיו בטמפרטורה הנכונה. יש להתייחס למייבש כאל ציוד שמיועד לחדר נקי – אין לגעת במשטחים החמים, ויש לשמור על שליטה בפליטת חלקיקים.
שינוי ההגדרות דורש התאמה מהירה. לאחר שההגדרות מותאמות, התהליך נהיה יציב וניתן לבקרתו.