سنسور مادون قرمز دقیق برای ویفرها
دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در محفظههای حرارتی، هدر برود!
مشکل اکثر لامپهای مادون قرمز این است که گرما را در تمام جهات پخش میکنند. وقتی که در...
گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
چرا بر روی آزمایش عایقبندی هیترهای ویفر تمرکز میکنیم؟
ما هیترهایی ساختهایم که باید بسیار کارآمد باشند و در عین حال، شرایط حرارتی بسیار سختی را نیز...
آینه برای لامپ خشککن ویفر
چرا از روش استفاده از هوای گرم برای پخت واشرها، به سمت استفاده از بازتابندههای مادون قرمز رفتهایم؟
اگر تجربه کار در فرآیندهای تولید نیمههادی داشته...
سنسور دما برای ابزار ویفر
استفاده بهینه از هر وات انرژی در فرآیند پردازش ویفرها میدانید که در فرآیند پردازش ویفرها، هر وات انرژی باید کار خود را به خوبی انجام دهد. روش قدیمی،...
گرمکن خشککن ویفر حسگر MEMS
نگاه کنید؛ یک ویفر از ایستگاه شستشو خارج میشود. هیچ نشانهای از آب روی سطح ویفر نباید وجود داشته باشد. فوتورزیست نمیتواند در برابر تغییرات دمایی...
لامپ حذف رطوبت ویفر
در کارخانههای تولید، رطوبت باقیمانده پس از تمیزکاری، صرفاً یک مشکل آزاردهنده نیست؛ بلکه این رطوبت وارد لایه فوتورزیست میشود، ابعاد مهم قطعات را...
فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
در کارخانههای تولید، فرآیند گرم کردن ویفر، یک فرآیند حرارتی است که باید به دقت انجام شود. اگر تغییر دما ۱۰ میلیثانیه باشد، یا فاصله بین هیتر و ویفر...
هیتر پردازش ویفر یاقوت
در کف کارخانه آن ویفر یاقوت ۲ اینچی زیر مسیر لیتوگرافی نشسته و منتظر یک Soft Bake است. شما به دمای ۱۱۰°C در سراسر سطح نیاز دارید، نه فقط آنچه که...