نگاه کنید؛ یک ویفر از ایستگاه شستشو خارج میشود. هیچ نشانهای از آب روی سطح ویفر نباید وجود داشته باشد. فوتورزیست نمیتواند در برابر تغییرات دمایی مقاومت کند؛ اگر دستگاه خشککن نتواند دمای مناسبی را فراهم کند، کیفیت محصول کاهش مییابد؛ یعنی نیاز به بازسازی مجدد پیدا میشود و محصولات بیکیفیت از چرخه تولید حذف میشوند.
از نظر فنی، چه چیزی در پس این دستگاه وجود دارد؟
ما دستگاه خشککن ویفرهای حسگر MEMS را با استفاده از عناصر گرمایشی با پاسخگویی سریع و سازگار با محیطهای تمیز، همراه با طراحی حرارتی مبتنی بر کوارتز، ساختهایم. این دستگاه، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ بنابراین، فرآیندهای خشککردن به درستی انجام میشوند.
تولید ذرات در این دستگاه صفر است؛ ساختار بسته و استفاده از مواد کمگاز، تعداد ذرات را در محدوده کلاس ۱–۱۰۰ نگه میدارد. کنترلر دما را با دقت ثبت میکند؛ این کار باعث پایداری فرآیند و کاهش نوسانات در محدودههای تعیینشده میشود. میزان مصرف انرژی نیز اندازهگیری میشود؛ استفاده از مواد با جرم حرارتی کم و عایقبندی مناسب، باعث کاهش مصرف انرژی بدون از بین رفتن پایداری فرآیند میشود.
چرا این موضوع در فرآیند تولید اهمیت دارد؟
در فرآیندهای MEMS، مرحله خشککردن، پایه و اساس تمام مراحل لیتوگرافی و بستهبندی را تعیین میکند. با استفاده از این دستگاه، ویفرها به خوبی خشک میشوند؛ هیچ نشانهای از آب روی سطح ویفر وجود ندارد، و یکپارچگی فوتورزیست نیز حفظ میشود.
نتیجه این کار، کاهش تعداد بازسازیها، کنترل بهتر ابعاد قطعات، و زمانهای تولید قابل پیشبینی است. این دستگاه برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ بنابراین، زمان کاری ثابت باقی میماند و مداخلات غیرمنتظره کم میشود. وقتی که بودجه حرارتی محدود باشد، این دستگاه باعث حفظ استانداردهای فرآیند، در تمام مراحل تولید، میشود.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
برای نصب این دستگاه، باید اتصالات مربوط به لولههای گاز را در نظر بگیرید. ما ابعاد و مشخصات لازم را فراهم میکنیم، اما شما باید فضای موجود برای نصب دستگاه را بررسی کنید.
دستگاه به سرعت به دمای مورد نظر میرسد، اما محفظه و ویفرها نیاز به زمان کافی برای گرم شدن دارند؛ بنابراین، باید آن را مانند تجهیزات محیطهای تمیز مورد استفاده قرار داد؛ سطوح گرم را لمس نکنید و از اقدامات لازم برای جلوگیری از آلودگی نیز پیروی کنید.
تغییر الگوهای کاری نیز به سرعت امکانپذیر است؛ پس از تنظیم دستگاه، فرآیند به شکلی قابل تکرار و قابل نظارت درخواهد آمد.