Auf der Fertigungsbühne ist die Feuchtigkeit, die nach dem Reinigen zurückbleibt, kein bloßes Ärgernis. Sie dringt während des Weichbrennvorgangs in den Fotoleiter ein, verändert dabei die wichtigen Abmessungen und führt somit zu sinkender Produktivität. Die Lampe zur Entfernung von Feuchtigkeit auf den Wafern bekämpft dieses Problem direkt – sie entfernt die Oberflächenfeuchtigkeit, bevor der Fotoleiter beeinträchtigt wird.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben diese Lampe mit kurzwelligen Halogenemittern in einer Quarzkapsel konstruiert. Dadurch wird eine schnelle, punktuelle Erwärmung der Oberfläche erreicht – mit minimalem Wärmemasseaufwand. Es kommt zu einer schnellen Anpassung an den Zielwert, einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde sowie zu einerhomogenen Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C. Das Strahlprofil wird an den Durchmesser der Wafer sowie an die Scangeschwindigkeit angepasst, sodass die thermischen Bedingungen kontrolliert bleiben und die Eigenschaften des Fotoleiters erhalten bleiben. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist ebenfalls gewährleistet: Materialien, die den Anforderungen von Klasse 1–100 entsprechen, eine versiegelte Bauweise sowie keine Staubentstehung während des Dauerbetriebs.
Warum es passt
Die Wafer werden zunächst durch einen Spülvorgang gereinigt und anschließend direkt in den Coater eingespeist. Wenn man die Feuchtigkeit nicht sofort entfernt, verdünnt das restliche Wasser die Schicht des Fotoleiters. Dies zeigt sich nach der Belichtung und dem Brennvorgang als Unregelmäßigkeiten an den Rändern der Wafer. Durch die Verwendung dieser Lampe wird die Feuchtigkeit verdampft, ohne dass das Substrat überhitzt wird. Dadurch bleibt das Brennprofil stabil. Das Ergebnis sind wiederholbare Weichbrennvorgänge, stabile Hartbrennvorgänge sowie eine Lithografiequalität, die innerhalb der Spezifikationen liegt.
Zuverlässigkeit
Die Zuverlässigkeit hängt von der Einsatzzeit ab. Diese Geräte arbeiten 24/7 ohne Ausfälle – die Leistungstoleranzen liegen nach 5.000 Stunden bei weniger als 5%.
Praktische Details
Die Lampe passt in vorhandene Anlagen mit standardmäßigen mechanischen und elektrischen Anschlüssen. Allerdings sind die Anpassungsanforderungen sehr streng. Überprüfen Sie die Ausrichtung des Strahls und stellen Sie sicher, dass die Scansynchronisation mit dem Controller des Coaters übereinstimmt. Nach dem Start des Tages dauert es etwas bis zur Erreichung der thermischen Stabilität. Die Intensität der Emittoren sollte regelmäßig kalibriert werden. In Räumen mit hoher Luftfeuchtigkeit muss darauf geachtet werden, dass keine erneute Kondensation entsteht.