In der Produktionsstätte ist das Trocknen des Fotoleitmittels keine Option – es handelt sich dabei um eine zwingende Voraussetzung. Selbst eine Temperaturabweichung von 0,5 °C auf der Waferoberfläche kann dazu führen, dass entscheidende Abmessungen verändert werden und dadurch die Ertragsrate sinkt. Deshalb haben wir unseren Ofen für die Halbleiterforschung genau unter Berücksichtigung dieser Realitäten konstruiert.
Was wirklich wichtig ist: Es geht um Präzision im Infrarotbereich. Unsere NIR-Lampe erzeugt ein homogenes Wärmefeld mit einer Genauigkeit von unter einem Millimeter – das bedeutet eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1 °C. Es handelt sich dabei nicht um reine Leistungsstärke, sondern um eine präzise Steuerung sowie eine optimale Geometrie der Reflektoren.
Das Ergebnis sind wiederholbare Prozesse beim Trocknen des Fotoleitmittels – von Zyklus zu Zyklus. In der Praxis bedeutet das eine vorhersehbare Verteilung des Fotoleitmittels, zuverlässige Linienbreiten sowie eine stabile Temperatur.
Warum der Ofen in der Praxis funktioniert: Die Lampe kann direkt in Reinräume der Klasse 1–100 eingebaut werden. Es darf keinerlei Partikel entstehen – deshalb werden versiegelte Quarzkörper sowie Geräte mit geringer Gasemission verwendet, um die Partikelzahl auf einem niedrigen Niveau zu halten.
Die Zuverlässigkeit wird anhand der Betriebszeit gemessen. Die Geräte arbeiten bis zu 5.000 Stunden lang ohne größere Leistungsabfälle – dadurch muss man sich keine Sorgen um Ausfälle der Lampe machen, sondern kann sich auf die Stabilität des Prozesses konzentrieren. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die NIR-Lampe die Wafer erwärmt und nicht die Wände des Ofens.
Was bei der Installation beachtet werden muss: Die Installation ist einfach, doch die thermische Verbindung zwischen der Lampe und dem Ofen ist entscheidend. Die Lampe muss mit der thermischen Masse des Ofens in der richtigen Entfernung und Ausrichtung verbunden sein – andernfalls entstehen Hotspots.
Man sollte mit einer kurzen Anlaufzeit rechnen – planen Sie Ihre Prozesse daher mit einer Stabilisierungszeit von 30 Sekunden ein. Obwohl die Lampe mit den meisten Ofentypen kompatibel ist, kann bei älteren Ofenmodellen eine kleine Anpassung der Steuerungsanlage erforderlich sein. Wir liefern bereits im Voraus die notwendigen Spezifikationen, damit es keine Überraschungen gibt.