Auf dem Lithoflachbett ist eine Abweichung von einem Halbdregrad bei der soften Trocknung des Fotoleitmittels keine „Toleranz“. Es handelt sich dabei um einen fehlerhaften Wafer. Die Trocknung des Fotoleitmittels hängt von der thermischen Kontrolle ab – und das Infrarotmodul ist der entscheidende Faktor dafür, ob die Qualität erhalten bleibt oder nicht.
Was wirklich wichtig ist Wir verwenden ein Infrarotmodul zur Trocknung des Fotoleitmittels, das eine thermische Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C gewährleistet. Zudem sorgt es dafür, dass die Trocknungsprofile von Charge zu Charge konstant bleiben. Die Wahl des Emitter types ist bewusst getroffen worden: Near-Infrarot, denn dadurch wird eine schnelle Reaktion erzielt, während gleichzeitig eine präzise Steuerung des Spektrums möglich ist. Dadurch werden thermische Verzögerungen vermieden. Das System ist für Reinräume der Klasse 1–100 konzipiert und wurde so entwickelt, dass keine Partikel entstehen. Dies wird durch eine kontinuierliche Überwachung der Partikelzahl im Reinraum überprüft. Das System soll 24/7 ohne unplanmäßige Stillstände arbeiten. Die Wartung erfolgt in Zeiten, in denen der Produktionsprozess unterbrochen wird.
Warum das bei der Verarbeitung des Fotoleitmittels wichtig ist Fotoleitmittel sind anspruchsvoll in der Handhabung. Die sanfte Trocknung sorgt für den Entzug von Lösungsmitteln, während die starke Trocknung die Haftung sowie die Stabilität der Abmessungen gewährleistet. Mit diesem Modul kann man die thermischen Bedingungen stabilisieren, den Rückstand an Lösungsmitteln verringern und somit die Anzahl der Nacharbeiten reduzieren. Dadurch wird eine bessere Kontrolle der Abmessungen erreicht, es entstehen weniger Defekte, und die Durchlaufzeit kann besser geplant werden. Zudem werden die Energiekosten gesenkt – da das Infrarotmodul schnell reagiert, können die Trocknungszeiten verkürzt werden, ohne dass die Qualität beeinträchtigt wird. Dadurch sinken die Kosten pro Wafer.
Was bei der Installation berücksichtigt werden muss Bei der Integration muss die Größe des Ofenraums berücksichtigt werden, außerdem müssen Spannung und Anschlusskompatibilität überprüft werden. 240 V ist typisch für den hohen Strombedarf. Das Modul benötigt eine saubere, trockene Kühlung sowie eine geeignete Befestigungsfläche für den Einsatz in einem Reinraum. Die Einrichtung ist zwar einfach, doch sie ist wichtig: Man muss die Emissionseigenschaften sowie die Scangeschwindigkeit an die Eigenschaften des Fotoleitmittels anpassen. Sobald alles eingestellt ist, bleibt der Prozess stabil. Doch man sollte nicht falsch verstehen: Die erste Einrichtung ist kein einfaches „Plug-and-Play“.