别再给工具柜加装加热装置了。
如果你曾经操作过半导体加工设备，那就知道其中有多麻烦。你需要让机器内部保持高温，但又不想把整个工具柜变成一个烤箱。
传统的对流式加热器效果并不好。它们只能加热周围的物体，很快就会导致外部温度过高，甚至烧伤操作员的手。同时，洁净室内的温度也会变得不稳定。这简直是一团糟。
解决方案是使用短波红外灯。
为什么有效呢？因为红外辐射是沿直线传播的，它不需要通过空气来传递热量。当我们使用定向红外系统时，能量会直接作用于工件上。而机壳则不会过热，因为金属壁并不适合吸收这种特定波长的辐射。
不过，不能简单地把高功率的灯泡放在某个地方就完事了。如果灯泡的功率过大，就会导致局部过热，进而使组件变形。因此，我们必须仔细调整灯泡的功率和焦距，确保热量能准确地施加在需要加热的位置上。
接线也很重要。我们必须使用耐高温的导线，因为没人愿意处理因过热而熔化的绝缘层。至于反射镜，则必须保持光亮如镜。如果反射镜不够光滑，光线就会被散射，这样热量又会白白浪费在机壳上。
不过，这并不是万能的解决方案。
由于热量过于集中，情况很容易失控。如果PID控制机制设置不当，目标物可能会瞬间过热。因此，你必须将这些灯泡与响应速度极快的热电偶一起使用。如果传感器的响应速度稍慢一点，控制器还没来得及做出反应，部件就已经被烧坏了。这确实很棘手，但这是目前唯一的解决方案。