为什么在半导体手套箱中使用红外线加热器
在半导体行业中，人们正在逐步淘汰含铅物质以及各种有害化学物质。因此，我们不得不重新思考如何对物料进行干燥处理。为了解决这个问题，我们开始在手套箱中使用红外线加热器。
以普通的对流式烤箱为例，它需要将空气中的每一立方英寸都加热到适当温度才能完成干燥过程。这种方式效率很低，而且浪费能源。而红外线加热器则有所不同——它可以直接将能量传递到被加热的物体表面，无需经过中间介质，也不需要加热整个空间。这样一来，我们就无需使用那些有害的溶剂，同时也能减少在固化过程中所消耗的能量。
其工作原理
我们这里使用的是短波或中波辐射。在手套箱中，由于我们非常重视氧气和湿度的控制，因此需要精确控制的加热效果。有趣的是，这种辐射能够穿透组件表面，从内部开始进行加热。如果只是从表面进行加热，那么表面会迅速变干，而内部的溶剂则仍然处于潮湿状态。红外线加热器则可以避免这种情况发生。
硬件方面的考虑
在将这些加热器安装到设备中时，关键在于功率密度。我们通常使用石英管或卤素灯，因为它们能快速升温——几秒钟内就能达到目标温度。为了保持环境中的空气质量，我们还会使用特殊的密封件，确保手套箱内的气体不会泄漏。不过，这些加热器会产生大量的热量，如果冷却系统无法及时散热，就可能会导致问题，比如设备变形或传感器损坏。因此，必须确保能够尽快将产生的热量排出。
保持清洁
无铅标准意味着需要更高的温度，而红外线加热器可以轻松达到这一温度，而且不会像传统燃气炉那样产生碳排放。此外，由于没有空气流动，也不会有颗粒物落在晶圆上。这是一种更简单、更干净的加热方式。