Припиніть марнувати енергію на зайве нагрівання: кращий спосіб обробки пластин
Будьмо чесними – заводи з виробництва напівпровідників є справжніми „енергоеїдами“. Якщо подивитися, куди потрапляє вся ця енергія, значна її частина просто витрачається на нагрівання.
Протягом багатьох років для обробки пластин використовувалися величезні конвективні печі. Але проблема полягає у тому, що потрібно витрачати чимало енергії на нагрівання всього приміщення – повітря, стін, всього без винятку – лише для того, щоб досягти потрібної температури пластини. Це неефективно.
Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоних ламп для обробки. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату, інфрачервоне випромінювання передає енергію прямо на саму пластину. Це значно ефективніше.
Чому фізика має значення
Ми використовуємо короткохвильове та середньохвильове інфрачервоне випромінювання, адже воно дозволяє швидше проникати крізь шари фоторезисту та клею, ніж гаряче повітря.
Уявіть різницю у часі: раніше доводилося чекати години, поки піч нагріється, а тепер все можна зробити за кілька секунд. Це значне скорочення кількості кіловат-годин, необхідних для обробки однієї пластини. Наші лампи мають високу щільність потужності, тож можна швидко досягти потрібної температури.
Як використовувати ці лампи на вашому заводі
Найкраще те, що це допомагає зменшити викиди вуглецю. Ви більше не будете боротися з втратами тепла, які виникають при нагріванні величезної металевої камери.
Ці системи розроблені так, щоб їх можна було легко встановити замість старих нагрівальних елементів. Тож вам не доведеться перебудовувати всю систему.
Однак слід звернути увагу на живлення: лампи з високою потужністю споживають багато енергії. Якщо ваша електросистема не витримує початковий пік навантаження, припинення роботи ламп буде постійним.
Реальність
Інфрачервоне випромінювання – це не чарівна паличка. У нього є свої особливості.
Через високу інтенсивність тепла можуть виникнути „точки надмірного нагріву“, якщо лампи не розташовані ідеально відносно пластини. Треба точно контролювати кут та відстань.
Щоб уникнути проблем, ми радимо використовувати систему контролю за допомогою пірометра. Це дозволить уникнути надмірного нагрівання пластини.
Крім того, не варто використовувати лампи на повну потужність без належного охолодження. Інакше філаменти швидко згорять. Важливо знайти оптимальний баланс між швидкістю обробки пластин та можливостями обладнання.