Чому ми відмовляємося від використання гарячого повітря на користь інфрачервоних відбивачів під час процесу висушування пластин
Якщо ви працюєте у сфері обробки напівпровідників, то, напевно, знаєте про проблеми, пов’язані з використанням гарячого повітря. Цей процес є дуже повільним – потрібно нагріти велику кількість повітря, щоб тепло потрапило на маленьку пластину. Це схоже на спробу нагріти будинок, спочатку нагріваючи доріжку біля нього.
Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоного опалення. Замість того, що чекати, поки повітря нагріється, інфрачервоне випромінювання безпосередньо потрапляє на об’єкт нагріву. Це значно прискорює процес.
Секрет полягає у відбивачах
Лампа для висушування сама по собі є досить некоефіцієнтним засобом. Без відбивача половина енергії просто йде даремно. Ми використовуємо відбивачі з особливими покриттями високої відбивності, які дозволяють повертати фотони назад на пластину. Це дозволяє концентрувати тепло. Крім того, за допомогою правильного формування відбивача можна забезпечити рівномірне розподілення тепла. Більше жодних „холодних точок“, більше жодних проблем з пластинами. Просто ефективне та послідовне висушування.
Усунення проблем, пов’язаних із тепловою інерцією
Найбільшою проблемою при використанні печей з гарячим повітрям є час очікування. Потрібно довго чекати, поки температура в камері підніметься. А якщо потрібно змінити температуру для іншого процесу? Доводиться просто чекати, поки повітря стабілізується. Це значна втрата часу.
У системах з інфрачервоним опаленням цієї проблеми немає. Достатньо лише увімкнути пристрій, і пластина досягне необхідної температури за кілька секунд. Це значно скорочує час обробки.
Певні недоліки (бо ніщо не є ідеальним)
Звісно, це не чудо-засіб. Інфрачервоне опалення також має свої недоліки. Через високу інтенсивність випромінювання лампи виділяють велику кількість тепла. Хоча це дозволяє скоротити час обробки, все одно потрібна система охолодження, яка зможе витримати теплове навантаження лампи.
Також потрібно постійно підтримувати чистоту. Якщо відбивач забрудниться, на його поверхні можуть утворитися забруднення. Це погіршує ефективність відбивача та може спричинити зайве нагрівання.
Якщо ви розглядаєте можливість відмови від використання гарячого повітря, подумайте про час, який ви витрачаєте на очікування. Якщо більшу частину дня ви проводите у очікуванні, що все нагріється чи охолоне, тоді використання інфрачервоних відбивачів є правильним рішенням.