Wafer tablası üzerinde, zaman saniye birimiyle ölçülür ve sıcaklık sapması, gerçekleşmeyi bekleyen bir verim kaybıdır. Fotorezist işleminde, soft bake çözücüyü uzaklaştırır ve film uniformitesini sağlar; hard bake ise, aşındırmaya dayanması gereken çapraz bağları kilitler. Isı kaynağınız set noktaya anında ulaşamıyor ve wafer boyunca bunu koruyamıyorsa, çizgi genişliği değişimi, kenar içbükeyliği ve çözücü kalıntısı hataları satın alıyorsunuz demektir.
Makine altında önemli olan
Talep üzerine enerji veren, alt-saniye ramplama hızına sahip hızlı tepki veren bir kızılötesi ısıtıcı ampul kullanıyoruz; bu, modern litografi hatlarındaki sıkı termal bütçelerle uyum gösterir. Filament kısa dalga boyunda çıktı verecek şekilde ayarlanmıştır, böylece fotoresist ve substratta hızla emilir ve optik ve mekanik aşamalarda ısı uygulanmaz. Wafer seviyesinde homojenlik aktif alanda ±0.1°C’de sabit kalır ve tekrarlanabilirlik parti-pati tutarlı olduğu için soft bake sıcaklığı, hard bake sıcaklığı ve kürleme profili spesifikasyon içinde kalır. Ampul, Class 1–100 sınıf ortamlar için düşük gaz çıkışı ve çalışma sırasında partikül oluşumu olmaması koşuluyla temiz oda uyumludur.
Bu, üretim hattında neden önemlidir
Wafer kurutma ve fotorezist pişirmede, hızlı tepki veren IR ampul profil kontrolünden taviz vermeden döngü süresini kısaltır. Her defasında aynı davranışı gösteren çözücü buharlaşması, daha sıkı CD kontrolü ve daha az yeniden işleme sağlanır. Enerji sadece gerektiğinde verildiği için güç tüketimi düşer ve oda içindeki fazla termal kütleyle mücadele edilmez. Güvenilirlik 7/24 çalışmayla kanıtlanmıştır ve uzun servis ömrü yedek parça stoklarını azaltır, bakım sürelerini yönetilebilir kılar.
Birkaç pratik not: Montaj, sıcaklık profilinin hedefte kalması için kesin optik hizalama ve temiz güç arabirimine bağlıdır. Ampul yüksek yoğunluktadır, bu nedenle reflektör geometrisi ve termal yönetimin watt yoğunluğu ve voltaja uygun olması gerekir. Ayrıca kontrollü soğuma prosedürleri planlanmalıdır; bunlar kuvars bütünlüğünü korur ve uzun vadede çıktı kararlılığını sağlar.