On litografi katında, fotoresist soyma işlemi sırasında destek ısıtıcısının devre dışı kalması hattı tamamen durdurur. Waferlar artık kalıntılarla dolmaya başlar, hurda oranı yükselir ve planlayıcı aniden zor durumda kalır. İhtiyacınız olan, sizi terletmeyen termal kontrolüdür.
Teknik açıdan önemli olan
Fotoresist soyma destek ısıtıcılarımız, aktif bölge genelinde wafer seviyesinde sıcaklık tutarlılığını ±0.1°C içinde tutar ve pişirme ile soyma dizisi boyunca setpoint stabilitesini sağlar. Kuvars elemanlar ve kontrollü kısa dalga kızılötesi yollar sadece hedefi ısıtır, böylece termal sızıntı oda donanımlarına geçmez.
Montaj, düşük gaz çıkışı yapan malzemeler ve partikül sayısını sabit tutan yüzey işlemi kullanılarak Class 1–100 temiz oda standartlarına göre tasarlanmıştır. Çok vardiyalı operasyonlarda, planlanmamış duruş olmadan 7/24 güvenilirlik ve kritik ölçülerin spesifikasyon sınırlarında kalmasını sağlayan tekrarlanabilir sıcaklık profilleri sunar.
Gerçek proseslerde neden dayanıklıdır
Soyma performansı, tutarlı bir termal bütçeye bağlıdır. Destek sıcaklığının stabilize edilmesi, çözücü ve plazma soyma kimyasallarının homojen çalışmasını sağlar; böylece kalıntılar ve soyma sonrası kusurlar azalır.
Yumuşak pişirme ve sert pişirme süreçleri de daha sıkı hale gelir. Bu, hat genişliği kontrolünü iyileştirir ve yeniden işleme ihtiyacını azaltır. Sonuç olarak daha yüksek ilk geçiş verimi, daha az sapma ve daha hızlı ısınma-düzeltme ile daha az enerji tüketimi sağlanır.
Planlamanız gerekenler
Isıtıcı mevcut soyma odalarına ve destek plakalarına yerleştirilir, ancak ara yüzün mekanik ve termal bağlantı noktalarıyla tam uyumlu olması gerekir. PID ayarlarını yapmak ve profilin fotoresist tabakanıza uygunluğunu doğrulamak için kısa bir devreye alma süresi planlayın.
Çalışma ömrü ortam ve görev döngüsüne bağlıdır. Yüksek güçlü görevlerde çalışıyorsanız, kuvars elemanların periyodik kontrolünü takviminize ekleyin; böylece sıcaklık tutarlılığı gereken seviyede kalır.