На литографическом столе незначительные колебания температуры не приводят к серьезным сбоям. Они проявляются в изменении ширины линий, наличии растворителей в фоторезисте, а также в появлении бракованных участков через несколько часов после обработки. Необходимо использовать устройство, которое будет поддерживать температуру фоторезиста в заданном диапазоне на протяжении всего процесса обработки.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем излучатели в диапазоне ближнего инфракрасного света, спектральный профиль излучения которых позволяет быстро и равномерно нагревать фоторезист. Это предотвращает разницу температур между поверхностью и нижней частью пленки. Равномерность температуры на всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, что обеспечивает однородную вязкость фоторезиста и стабильное его действие при нанесении. Система может работать непрерывно без образования частиц; она соответствует требованиям чистых помещений от класса 1 до класса 100. Интенсивность излучения остается стабильной в течение более 5000 часов, с отклонением менее 5%. Тепловой профиль остается неизменным от партии к партии.
Это важно для производства: меньше необходимости в переработке продукции и меньше риска загрязнения. Более строгой контроль температуры снижает количество растворителей в фоторезисте и проблем с образованием избыточных слоев, что позволяет сохранять высокую точность нанесения покрытия. Потребление энергии снижается, поскольку ближнее инфракрасное излучение нагревает фоторезист напрямую, а не стены камеры.
Надежность устройства обеспечивается за счет возможности его работы 24/7, при этом температурный режим соответствует требованиям процесса без каких-либо отклонений, что позволяет продолжать процесс литографии без неплановых остановок.
Несколько практических замечаний. Интенсивность излучения ближнего инфракрасного света уменьшается с расстоянием, поэтому расстояние между лампой и пластиной должно быть точно определено и калибровано при установке. Необходимо время на разогрев до нужной температуры, а также планировать обслуживание с учетом срока службы излучателя. Убедитесь, что устройство совместимо с интерфейсом вашего оборудования для нанесения покрытия, а также проверьте параметры процесса с учетом времени реакции лампы, чтобы все параметры оставались в пределах допустимых значений.