На производственной линии процесс выпечки фотополимера является обязательным этапом — это часть технических требований. Даже незначительное изменение температуры на уровне 0,5°C может привести к изменению критических размеров деталей и снизить качество продукции. Мы разработали специальные лампы для печи в нашей лаборатории по производству полупроводников именно с учетом этих условий.
Что действительно имеет значение Все сводится к точности инфракрасного излучения. Наши лампы создают однородное тепловое поле с точностью до уровня под миллиметр, что позволяет достичь однородности температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Речь не идет о простой мощности излучения, а о правильном контроле спектра излучения и геометрии отражателей.
Это позволяет получать стабильные результаты при каждом цикле обработки. На практике это означает предсказуемое распределение фотополимера, стабильную ширину линий и стабильный тепловой режим.
Почему лампы подходят для использования на производстве Лампы можно использовать в стерильных помещениях класса 1–100. Критически важно отсутствие частиц в воздухе, поэтому в конструкции используются герметичные кварцевые корпуса и элементы с минимальным выделением газов, чтобы поддерживать низкий уровень частиц.
Надежность ламп измеряется временем их работы. Они могут работать более 5 000 часов с потерей производительности менее 5%. Это позволяет сосредоточиться на стабильности процесса, а не на ремонте ламп. Также снижается потребление энергии, поскольку лампы нагревают саму пластину, а не стены камеры.
На что следует обратить внимание при установке Установка лампы проста, но важно правильно подобрать ее расположение относительно теплового объема печи. В противном случае могут возникнуть зоны с чрезмерным нагревом.
Ожидайте небольшой период настраивания до достижения заданной температуры; планируйте процесс так, чтобы было время на стабилизацию в 30 секунд. Хотя лампы совместимы с большинством печей, для модернизации старых печей может потребоваться небольшая корректировка интерфейса управления. Мы предоставляем все необходимые технические характеристики заранее, чтобы избежать неприятных сюрпризов.