半導体製造工場での無駄なエネルギー消費を止めよう
半導体製造工場をアップグレードする際、多くの場合、単により多くの電力を投入しようとします。しかし実際には、それが必ずしも最善の解決策とは限りません。重要なのは、電力が本来あるべき場所に届くようにすることです。
一般的な石英ランプは、エネルギーが背面や側面から漏れ出てしまいます。つまり、無駄にクリーンルームが温められてしまうのです。私たちは、金コーティングされた反射板を使用することでこの問題を解決しました。聞こえは高価に思えますが、目的は単純です。赤外線をウェハー上に直接当てるのです。
なぜ金なのか？
それは物理学に基づいています。金はアルミニウムや磨かれた鋼鉄よりもはるかに効果的に赤外線を反射します。筐体に薄い金の層を塗ることで、エネルギーの漏れを防ぐのです。
そうすることで、より多くのエネルギーがターゲットに届きます。焦点がより明確になり、周囲の装置が余計な熱で壊れる心配もありません。これにより、より効率的になります。
希望する場所に正確に熱を届ける
ウェハー上で均一でない加熱が起こることがあると、どれほど厄介かご存知でしょう。そんな時、金コーティングが役立ちます。これにより、光束の形状を自由に調整できます。
必要に応じて、熱を中央に集中させたり、端が焼けないように平らにしたりできます。つまり、単純な道具を精密な道具に変えるのです。
注意点
ただし、効率が高すぎるため、ウェハー上の熱密度が上昇します。そのため、温度制御装置をしっかり監視する必要があります。PID制御がこのような高効率に対応していない場合、設定値を超えてしまう可能性があります。
また、金は状態が変わりやすいこともあります。もし工場内に腐食性のガスが漂っていると、コーティングが劣化してしまいます。そうなると、効率が低下してしまいます。
結論
これらは、既存の電源に接続するだけで使えるように作られています。最も良い点は、ウェハーがより速く目標温度に到達することです。サイクルタイムが短縮される一方で、施設の電力システムに負担をかけることはありません。つまり、より効率的に動作するのです。