もうオーブンを待っている時間は無駄です。なぜなら、クリーンルームでは赤外線ランプの方がホットエアより優れているからです。半導体製造に携わったことがある人なら、待つという苦しさを知っているでしょう。ただ立って、ホットエアチャンバーを見つめながら、温度が安定するのを待つしかありません。
しかし最近では、ホットエアを使わずに赤外線ランプを使う人が増えています。その理由は簡単です。それは、熱がどのようにして基板に届くかという点にあります。
ホットエアは遅いです。まず空気を温め、次にチャンバーを温め、最終的に基板を温めます。まるで廊下にあるエアヒーターで部屋を暖めるようなものです。一方、赤外線ランプは違います。直接、対象物に熱エネルギーを送り込みます。
とても速いのです。本当に速い。
自分の毎日のスケジュールを考えてみてください。20分かかる温め作業を30秒で済ませることができれば、一日がぐっと効率的になります。もう、機器の都合に合わせて生活のスケジュールを組む必要はありません。実際に仕事を進めることができます。
さらに、清潔さの面でも有利です。
強制送風式のシステムは、基本的に大きなファンです。空気を動かすため、クリーンルームでは空気の流れは好ましくありません。空気の流れによって粒子が舞い上がり、ウェーハが損傷する可能性があります。一方、赤外線ランプはそういうことはありません。風を送ることもないので、ウェーハを保護できます。
また、デスクスペースも確保できます。巨大なファンや複雑な配管を置く必要はありません。ランプを接続し、適切な距離を設定すれば OKです。
しかし、完璧というわけではありません。
赤外線ランプは方向性があるため、見える範囲内のみを温めます。もし部品の形状が奇妙だったり、深い部分があったりすると、冷たい場所ができてしまいます。ランプを適当に配置しても意味がありません。熱が均等に行き渡るように、意図的に配置する必要があります。
最後に、エンジニアの方々へ。電力にも注意してください。
赤外線ランプは、迅速に高温に達するために多くの電力を消費します。交換する前に、バッテリーがその負荷に耐えられるか確認してください。また、高ワット数の装置を使用する場合は、専用のコントローラーを使用しましょう。そうすれば、温度が上昇しすぎるのを防ぎ、ウェーハが過度な熱衝撃を受けるのを防げます。