フレークの発生を防ぐ：クラス100のクリーンルームでの加熱対策
クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営している方なら、ガス放出による問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかな破片やVOCがウエハーに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。
通常の加熱コイルは信頼性に欠けます。剥がれたり、損傷したりすることがあり、高精度な作業環境では使えません。
そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。
なぜ石英なのか？
それは素材の特性によるものです。私たちが使用しているのは、イオンが半導体ウエハーに混入しないほど純度の高い融解シリカです。
金属製のヒーターのように時間とともに酸化して表面が剥がれることはありません。化学的に安定しており、剥がれたり、金属粉が基板上に付着したりすることもありません。また、短波長の赤外線が直接対象物に当たるため、チャンバー全体を温める無駄なエネルギー消費もありません。
電力に関する詳細
これらのランプは過酷な条件でも機能します。急速な加熱処理を行う場合、重要なのはワット数です。電圧やワット数を調整して、ご自身の電源に合わせることができますが、注意点があります。高出力の石英ランプは非常に高温になります。
電力を強くすぎると、配線や取り付けブラケットが耐えられず、早期に故障してしまいます。
設置方法とメンテナンス
標準的なコネクタを使用しているため、既存の装置に簡単に取り付けることができます。石英の外殻は密閉されているため、内部のフィラメントが酸化することはありません。
ただし、注意点があります。石英は熱を好みますが、衝撃には弱いのです。固定方法が厳しすぎたり、チューブに直接的な圧力がかかったりすると、応力による亀裂が生じます。これは徐々に進行しますが、実際に起こり得ます。
私のアドバイスは、ソフトタッチの支持具を使用することです。そうすれば、ランプが安全に保たれ、熱サイクルの間も亀裂が生じる心配がありません。