Arrêtez de gaspiller votre énergie dans les usines de fabrication de semi-conducteurs
Lorsqu’on modernise une usine de fabrication de semi-conducteurs, l’instinct est généralement de simplement fournir plus d’énergie au système en question. Mais en réalité, plus d’énergie n’est pas toujours la solution. Le vrai problème est de s’assurer que l’énergie atteigne bien l’endroit où elle doit aller.
La plupart des lampes en quartz standard sont très perméables : elles laissent s’échapper de l’énergie par l’arrière et des côtés. Cela revient à chauffer inutilement la salle de purification. Nous avons résolu ce problème en utilisant des réflecteurs recouverts d’or. Ça semble sophistiqué, mais l’objectif est simple : diriger directement les rayons infrarouges vers la wafer.
Pourquoi l’or ?
C’est une question de physique. L’or reflète beaucoup mieux les rayons infrarouges que l’aluminium ou l’acier poli. En mettant une fine couche d’or sur le boîtier, nous empêchons l’énergie de s’échapper. Ainsi, plus d’énergie atteint la cible. On obtient ainsi un point focal plus précis, sans que les équipements environnants ne soient endommagés par la chaleur résiduelle. C’est donc plus efficace.
Diriger la chaleur exactement là où vous le souhaitez
Si vous avez déjà eu affaire à un chauffage inégal sur une wafer, vous savez à quel point c’est frustrant. C’est là que le revêtement en or devient vraiment utile : il permet de diriger précisément les rayons de chaleur. Selon vos besoins, vous pouvez concentrer la chaleur au milieu de la wafer ou la répartir uniformément pour éviter de brûler les bords. Cela transforme un outil rudimentaire en un outil de précision.
Quelques points à prendre en compte
Il y a tout de même quelques points à considérer. Comme ces dispositifs sont très efficaces, la densité de chaleur sur la wafer augmente considérablement. Il faudra donc surveiller de près les contrôleurs de température. Si les paramètres PID ne sont pas ajustés pour cette efficacité, vous risquez de dépasser la température souhaitée. De plus, l’or peut être affecté par des gaz corrosifs présents dans l’usine ; dans ce cas, son efficacité diminue.
En résumé
Nous avons conçu ces dispositifs pour qu’ils puissent remplacer directement les anciens systèmes. Il suffit de les connecter à votre alimentation électrique actuelle. Le meilleur avantage ? Les wafers atteignent plus rapidement la température souhaitée. Vous réduisez ainsi les temps de traitement, sans exercer de pression supplémentaire sur le réseau électrique de l’usine. C’est simplement plus efficace.