دیگر نیازی نیست منتظر کارکرد فر بمانید؛ چرا که روش گرمایش با امواج مادون قرمز، بهتر از روش گرمایش با هوای داغ است.
اگر هنوز از روش گرمایش با هوای داغ برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنید، در واقع در حال صرف وقت بیهوده هستید.
تصور کنید که چگونه هوای داغ عمل میکند: ابتدا هوا گرم میشود، سپس باید منتظر بمانید تا آن هوا قسمت مورد نظر را گرم کند. این روش بسیار آهسته است. در کارخانههای تولید نیمههادی، این تأخیر در زمان، در واقع هدر دادن پول است.
حذف واسطهها
روش گرمایش با امواج مادون قرمز، کار را به شکل متفاوتی انجام میدهد. به جای گرم کردن کل اتاق یا هوا، از تابش الکترومغناطیسی برای انتقال انرژی مستقیم به سطح ویفر استفاده میشود.
این مانند تفاوت بین گرم کردن یک اتاق با استفاده از هیتر و قرار گرفتن در معرض نور خورشید است؛ نیازی نیست منتظر بمانید تا دمای اتاق به میزان مشخصی برسد. کافی است کلید را فشار دهید؛ فوتونها به سطح ویفر برخورد کرده و کار انجام میشود.
ما در حال صحبت درباره تغییر زمان انجام کار از دقایق به ثوانی هستیم.
البته، چند ثانیه شاید زیاد به نظر نرسد؛ اما اگر بتوانید ۳۰ ثانیه از زمان هر چرخه کاهش دهید، در هر شیفت، چند ساعت زمان تولید اضافی خواهید داشت. این یک مزیت بزرگ است.
صرفهجویی در فضا
سیستمهای گرمایشی مبتنی بر هوا، بسیار پیچیده هستند؛ شامل فنها، لولهها و جعبههای بزرگی که برای جلوگیری از نشت گرما استفاده میشوند. این سیستمها فضای زیادی را اشغال میکنند.
در مقابل، لامپهای مادون قرمز بسیار کوچک هستند؛ میتوان آنها را مستقیماً در خط تولید قرار داد. علاوه بر این، این روش برای محیط زیست نیز بهتر است؛ چون نیازی نیست انرژی زیادی صرف گرم کردن کل اتمسفر دستگاه شود؛ فقط سطح ویفر گرم میشود.
معایب
نمیخواهم بگویم که این روش جادویی است؛ چون چنین نیست. روش مادون قرمز سریع است، اما جهتدار است.
هوای داغ، سطح ویفر را مانند یک پتو احاطه میکند؛ اما امواج مادون قرمز بیشتر شبیه یک چراغ قوه هستند. اگر ویفر کمی کج باشد یا لامپ کمی از جای خود منحرف شود، نقاط سردی روی سطح ویفر ایجاد خواهد شد.
باید مراقب باشید که منعکسکنندهها و سنسورها به درستی کار کنند تا گرما به طور یکنواخت در سراسر سطح ویفر پخش شود. همچنین، بهتر است بدانید که از آنجایی که گرما خیلی سریع اعمال میشود، نیاز به سیستم خنککننگی قوی دارید. اگر نتوانید این نوسانات دمایی را کنترل کنید، سطح ویفر دچار تغییر شکل خواهد شد.
اما وقتی که تنظیمات درست انجام شود، اوضاع کاملاً متفاوت خواهد بود.