در کف سنگی، تغییرات جزئی در دمای حرارتی، به عنوان یک نقص بزرگ ظاهر نمیشود؛ بلکه این تغییرات منجر به تغییرات در عرض خطوط، وجود مواد حلال در رزیست، و همچنین تولید محصولات نامرغوب پس از چند ساعت از فرآیند میشود. آنچه لازم است، لامپی باشد که دمای رزیست را دقیقاً در محدوده مشخص شده نگه دارد؛ چرا که این کار باید در هر چرخه انجام شود.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟ ما از فرستندههای نور مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این فرستندهها دارای خروجی طیفی هستند که به گونهای طراحی شدهاند تا نور را به طور یکنواخت و سریع به رزیست برسانند؛ بنابراین اختلاف دمایی بین سطح و قسمت پایینی فیلم ایجاد نمیشود. یکنواختی دمایی در سطح ویفر، حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع منجر به یکپارچگی خواص رزیست و رفتار یکنواخت در روند پوششدهی میشود. این سیستم به طور مداوم کار میکند و هیچ ذرهای تولید نمیشود؛ بنابراین مناسب برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح پاکیزگی از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است. خروجی نور در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند؛ همچنین تغییرات شدت نور کمتر از ۵٪ است، و الگوی حرارتی نیز در هر سری تولید یکسان است.
دلیل اهمیت این موضوع در فرآیند تولید این است که باعث کاهش کارهای تکراری و کاهش خطر آلودگی میشود. کنترل دقیق دما، مانع از انباشت مواد حلال و مشکلات مربوط به لبههای فیلم میشود؛ بنابراین کنترل کیفیت فیلم بهتر میشود و نیازی به برش بیشتر فیلم نیست. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا نور مادون قرمز مستقیماً رزیست را گرم میکند، نه دیوارههای محفظه.
قابلیت اطمینان این سیستم برای کار ۲۴/۷ فراهم است؛ همچنین، رشد دمایی سیستم مطابق با دستورالعملهای فرآیند است، بدون اینکه از حد مشخص شده فراتر رود؛ بنابراین فرآیند لیتوگرافی بدون توقفات ناخواسته ادامه پیدا میکند.
چند نکته عملی: شدت نور مادون قرمز با فاصله کاهش مییابد؛ بنابراین فاصله بین لامپ و ویفر باید در هنگام نصب تنظیم شود. انتظار داشته باشید که برای رسیدن به وضعیت پایدار، زمان کوتاهی برای گرم شدن لامپ لازم باشد؛ همچنین، باید نگهداری لامپ را متناسب با عمر آن برنامهریزی کنید تا برنامههای کاری شما مختل نشود. مطمئن شوید که این ابزار با رابط کاربری دستگاه پوششدهی شما سازگار است؛ همچنین، دستورالعملهای مربوط به فرآیند پوششدهی را با زمان پاسخگویی لامپ بررسی کنید تا فرآیند در محدوده مشخص شده باقی بماند.