در کف سنگی، تغییرات نیم درجهای در دمای فرایند خشککردن فوتورزیست، نوعی «تحمل» محسوب نمیشود؛ بلکه به معنای از کار افتادن واحد مورد استفاده است. خشککردن فوتورزیست به شدت تحت تأثیر شرایط حرارتی قرار دارد؛ ماژولهای مربوط به مادون قرمز نقش کلیدی در تعیین بازدهی فرآیند دارند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد: ما از ماژولهای خشککننده فوتورزیست مبتنی بر مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این ماژولها باعث میشوند که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. همچنین، این ماژولها باعث میشوند که پروفایلهای فرآیند خشککردن در هر بار تکرار قابل پیشبینی باشد. انتخاب نوع ساطعکننده نیز با دقت انجام شده است؛ ساطعکنندههای مادون قرمز، پاسخ سریع و دقیقی ارائه میدهند و کنترل طیفی بهتری نیز دارند. این امر باعث میشود که تأخیرات حرارتی و اختلافات در دما کاهش یابد. این سیستم برای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ همچنین، این سیستم بدون تولید هیچ ذرهای عمل میکند و این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در همان محل، تأیید میشود. این سیستم قرار است ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای کار کند؛ زمان خدماترسانی نیز متناسب با تغییرات فرآیند تولید تنظیم میشود.
چرا این موضوع در فرآیند فوتورزیست اهمیت دارد: فوتورزیست مادهای حساس است؛ فرآیند خشککردن نرم، باعث حذف حلالها میشود، در حالی که فرآیند خشککردن سخت، باعث تثبیت چسبندگی و پایداری ابعاد میشود. با استفاده از این ماژول، میتوانیم یکنواختی حرارتی را حفظ کنیم، میزان حلالهای باقیمانده را کاهش دهیم و کارهای تکراری را کاهش دهیم. نتیجه این امر، کنترل بهتر ابعاد، کاهش نقصها و کاهش هزینههای تولید خواهد بود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا ماژولهای مادون قرمز به سرعت پاسخ میدهند، بنابراین میتوانیم مراحل خشککردن را کوتاه کنیم، بدون اینکه پروفایل حرارتی تغییر کند؛ این امر هزینه تولید هر ویفر را کاهش میدهد.
آنچه برای نصب صحیح لازم است: نصب این سیستم نیازمند تطبیق اندازه محفظه فر و همچنین تطابق ولتاژ و اتصالات است؛ معمولاً ولتاژ مورد نیاز ۲۴۰ ولت است. این ماژول به سیستم خنککنی تمیز و خشک و همچنین رابط نصب مناسب نیاز دارد. فرآیند راهاندازی کوتاه است، اما اهمیت زیادی دارد؛ باید درجه ساطعشدن نور و سرعت اسکن را متناسب با نیازهای فوتورزیست تنظیم کرد. پس از تنظیم، فرآیند به طور پایدار ادامه خواهد یافت. اما به یاد داشته باشید که راهاندازی اولیه این سیستم، کار سادهای نیست.