Warum wir goldbeschichtete Doppellamellen-IR-Lampen für Halbleiter nutzen
Die Welt der Halbleiter setzt stark auf „grüne“ und bleifreie Trocknungsverfahren. Das ist durchaus vernünftig. Lange Zeit haben wir uns auf Konvektionsöfen verlassen – doch ehrlich gesagt sind diese energieintensiv. Sie verbringen viel zu viel Energie damit, die Luft um das Bauteil herum zu erhitzen, anstatt das Bauteil selbst zu erwärmen.
Deshalb haben wir auf goldbeschichtete Doppellamellen-IR-Lampen umgestellt. Anstelle dazu, den Raum zu erwärmen, senden diese Lampen die Energie direkt in das Bauteil hinein. Dadurch wird alles sauberer und schneller abgewickelt – außerdem kann man auf die Verwendung von chemischen Lösungsmitteln verzichten.
Die Magie der Goldbeschichtung
Herkömmliche Quarzröhren geben die Wärme überallhin ab – das ist unpraktisch. Doch wenn man eine Goldbeschichtung auf die Innenseite der Doppellamellen aufträgt, fungiert diese wie ein Spiegel. Sie reflektiert die IR-Energie in einem konzentrierten Strahl zurück.
Das Beste daran: Man erhält viel mehr Wärme am Zielort – ohne dass zusätzliche Energie benötigt wird. Zudem bleibt dadurch der Reinraum kühl. Niemand mag einen Reinraum, der wie eine Sauna wirkt.
Warum die Doppellamellen-Technologie wichtig ist
Wir verwenden diese Technologie, weil sie uns eine größere Arbeitsfläche bietet, ohne dass dabei mehr Platz benötigt wird. So kann die Wärme gleichmäßig auf dem Wafer oder der PCB-Platte verteilt werden. Es entstehen keine „heißen Punkte“, wie es bei Einzelheizern der Fall ist. Diese Lampen sind außerdem sehr schnell einsatzbereit – man muss nur einen Schalter umlegen, und schon kann man mit der Arbeit beginnen.
Der Trade-off – das, was wir berücksichtigen müssen
Der Haken dabei ist: Da diese Lampen so leistungsstark sind, kann der hintere Teil des Geräts trotzdem overheated werden. Man kann sie einfach nicht so einbauen und dann vergessen. Man muss sorgfältig mit den Lüftungsanlagen und Kühlsystemen umgehen. Wenn der Luftstrom blockiert wird, brennen die Filamente viel früher aus. Es handelt sich dabei um eine einfache, aber wichtige Lösung.
Der Umstieg auf diese Technologie ist ein großer Schritt in Richtung der Null-Emission-Ziele. Man muss nicht mehr fossile Brennstoffe verwenden, um die Bauteile zu erwärmen – stattdessen kann man auf ein effektives, rein elektrisches Verfahren zurückgreifen.