Auf dem Lithografieboden zeigt sich eine geringe Temperaturschwankung während des Trocknungsprozesses nicht als deutlicher Fehler an. Stattdessen treten Variationen in der Linienbreite auf, Lösungsmittel bleiben im Photoresist zurück – und es entstehen Beschädigungen, die erst Stunden später erkennbar werden. Was man braucht, ist eine Lampe, die die thermischen Bedingungen im Photoresist genau so hält, wie es in den Vorgaben vorgesehen ist – Cycle für Cycle.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Infrarotstrahler mit einem spektralen Ausgangssignal, das dafür sorgt, dass das Licht schnell und gleichmäßig in den Photoresist eindringt. Dadurch entsteht keine Temperaturunterschiede zwischen der Oberfläche und der Unterseite des Films. Die Homogenität auf Waferebene liegt bei ±0,1°C innerhalb der Trockenzone – das führt wiederum zu einer konstanten Viskosität sowie einem einheitlichen Beschichtungsverhalten. Das System funktioniert kontinuierlich, ohne dass Partikel entstehen – es ist somit für Reinräume von Klasse 1 bis Klasse 100 geeignet. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, mit einer Intensitätsänderung von weniger als 5%. Zudem wiederholt sich das thermische Profil von Charge zu Charge.
Das ist in der Produktion wichtig: Weniger Nacharbeiten und weniger Kontaminationen. Eine präzise Temperaturregelung reduziert außerdem das Risiko von Lösungsmittelrückständen sowie Problemen an den Rändern des Films. So bleibt die Genauigkeit der CD-Beschichtung hoch – man muss weniger Material entfernen. Der Energieverbrauch sinkt, da das Infrarotlicht direkt den Photoresist erhitzt, nicht die Wände der Kammer.
Die Zuverlässigkeit wird durch einen 24/7-Betrieb gewährleistet. Die Temperaturanpassungen entsprechen den Prozessvorgaben – ohne Überschreiten der Grenzwerte. Dadurch kann der Lithografieprozess ununterbrochen fortgesetzt werden, ohne unplanmäßige Stopps.
Ein paar praktische Hinweise: Die Intensität des Infrarotlichts nimmt mit der Entfernung ab. Deshalb muss die Distanz zwischen der Lampe und dem Wafer bei der Installation genau festgelegt und kalibriert werden. Es ist außerdem notwendig, eine kurze Aufwärmzeit einzuplanen, damit die gewünschte Temperatur erreicht wird. Zudem sollte die Wartung so gestaltet werden, dass der Betriebsablauf nicht beeinträchtigt wird. Stellen Sie sicher, dass das Gerät mit Ihrer Besprüfungseinrichtung kompatibel ist. Überprüfen Sie außerdem die Trocknungsparameter im Vergleich zur Reaktionszeit der Lampe, damit der Prozess innerhalb der vorgegebenen Parameter abläuft.