V provozu výroby není vlhkost zbylá po čištění jen nepříjemností. Vstřebává se do fotorezistu během procesu zahřívání, mění tak kritické rozměry a vede ke snížení kvality výrobku. Lampa na odstranění vlhkosti z destiček řeší tento problém přímo – odstraňuje povrchovou vlhkost ještě předtím, než dojde k poškození fotorezistu.
Co je důležité uvnitř lampy
Lampu jsme navrhli s využitím krátkovlnných halogenových zdrojů světla umístěných v křemenném obalu. Cílem je rychlé ohřev povrchu s minimální tepelnou hmotností. Dokáže rychle dosáhnout požadované teploty, reakce trvá méně než sekundu a rovnoměrnost teploty na povrchu destičky je v rozmezí ±0,1 °C. Profil paprsku je přizpůsoben průměru destičky a rychlosti skenování, takže tepelné podmínky zůstávají pod kontrolou a chemické vlastnosti fotorezistu zůstávají zachovány. Lampa je kompatibilní s čistými prostředími – používají se materiály odpovídající normám tříd 1–100, uzavřený obal a během kontinuálního provozu nedochází k tvorbě částic.
Proč se hodí do provozu
Destičky procházejí procesem otáčení a sušení a poté přecházejí rovnou do nástroje na nanášení látky. Pokud vlhkost neodstraníte hned, zbytečná voda zředí povrch fotorezistu. To se projeví jako nerovnoměrné rozložení látky po expozici a zahřívání. Pokud umístíte lampu do řady za nástrojem na nanášení látky, vlhkost se odpaří bez přehřátí substrátu, takže profil zahřívání zůstane takový, jaký jste plánovali. Výsledkem je spolehlivý proces zahřívání, stabilní výsledky litografie a zachování specifikací.
Spolehlivost závisí na době provozu. Tyto jednotky fungují 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přestávek a odchylka výstupu zůstává pod 5 % po 5 000 hodinách provozu.
Praktické detaily
Lampa se dokáže připojit k stávajícím systémům pomocí standardních mechanických a elektrických rozhraní. Avšak tolerance zarovnání je velmi nízká. Je potřeba zkontrolovat zarovnání paprsku a ujistit se, že synchronizace skenování odpovídá konfiguraci nástroje na nanášení látky. Očekávejte krátký čas na dosažení tepelné stability na začátku dne. Kalibraci intenzity zdroje světla je potřeba provádět pravidelně. V prostředích s vysokou vlhkostí je nutné zajistit efektivní odvětrání, aby nedocházelo k opětovné kondenzaci vlhkosti po ošetření.