V výrobní hale není pečení fotorezistu volitelné – jedná se o základní požadavek. I odchylka teploty o pouhých 0,5 °C na povrchu destičky může ovlivnit kritické rozměry a narušit kvalitu výsledku. Naše laboratorní trouby pro polovodiče jsou navrženy právě s ohledem na tuto skutečnost.
Co je opravdu důležité Jde o přesnost v infračerveném pásmu. Naše NIR lampy vytvářejí homogenní tepelné pole v rozsahu pod milimetr, což znamená homogenitu na úrovni destičky v rozmezí ±0,1 °C. Nejde tu o prostou sílu záření, ale o správnou regulaci spektra a geometrii reflektorů.
Výsledkem je možnost opakovaného použití této metody, cyklus za cyklem. V praxi to znamená předvídatelný tok fotorezistu, konstantní šířku linií a stabilní tepelné podmínky.
Proč to funguje v reálných výrobních halách Lampa lze bez problémů použít v čistých prostorách třídy 1–100. Klíčové je eliminování vzniku částic, proto je konstrukce lampy vyrobena z hermeticky uzavřených kvartových obalů a s zařízeními, která minimalizují uvolňování částic.
Spolehlivost se měří dobou provozu. Přístroje fungují více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. Díky tomu nemusíte řešit poruchy lampy, ale můžete se zaměřit na stabilitu procesu. Spotřeba energie také klesá, protože NIR světlo zahřívá samotnou destičku, nikoliv stěny komory.
Na co si dát pozor při instalaci Instalace je jednoduchá, ale je důležitá správná termická spojitost mezi lampou a troubou. Lampa musí být správně umístěna vzhledem k tepelné hmotnosti trouby – jinak vzniknou „horká místa“. Očekávejte krátké období na dosažení požadované teploty; plánujte své procesy s ohledem na 30sekundové období stabilizace. Ačkoliv lampa funguje s většinou typů troub, u starších trub může být potřeba menší změna v rozhraní ovládání. Poskytneme vám specifikace rozhraní předem, abyste se vyhnuli překvapením.