লিথো ফ্লোরে, সফট বেকিংয়ের সময় অর্ধ-ডিগ্রির পরিবর্তনও “টলারেন্স” হিসেবে গণ্য হয় না। এটা অকেজো ওয়েফার হিসেবেই বিবেচিত হয়। ফটোরেসিস্ট শুকানোর প্রক্রিয়া তাপীয় নিয়ন্ত্রণের উপর নির্ভর করে; আর ইনফ্রারেড মডিউলটিই হলো সেই গুরুত্বপূর্ণ বিন্দু, যেখানেই উৎপাদনের হার নির্ধারিত হয়।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ? আমরা এমন একটি ইনফ্রারেড ফটোরেসিস্ট শুকানোর মডিউল ব্যবহার করি, যা ওয়েফারের তাপীয় অবস্থাকে ±0.1°C এর মধ্যে রাখে। এছাড়া, এটা বারবার ব্যবহার করার জন্যও উপযুক্ত। এমিটার হিসেবে নিয়র-ইনফ্রারেড ব্যবহৃত হয়; কারণ এটা দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয় এবং স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণও ভালো হয়। এর ফলে তাপীয় ব্যাঘাত কমে যায়। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের জন্য তৈরি করা হয়েছে; এছাড়া, এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না করার জন্যও ডিজাইন করা হয়েছে। এটা ২৪/৭ চালানো যায়; আর সার্ভিস করার সময়টাও ফ্যাব পরিবর্তনের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ করা হয়েছে।
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় এটা কেন গুরুত্বপূর্ণ? ফটোরেসিস্ট খুবই সংবেদনশীল। সফট বেকিংয়ের মাধ্যমে দ্রবক অপসারিত হয়; আর হার্ড বেকিংয়ের মাধ্যমে ওয়েফারের আঠালোতা ও আকার স্থিতিশীল থাকে। এই মডিউলের মাধ্যমে তাপীয় অবস্থা নিয়ন্ত্রণ করা যায়; দ্রবক অবশিষ্টাংশ কমানো যায়; আর অপ্রয়োজনীয় পুনর্কাজও কমে যায়। এর ফলে ওয়েফারের আকার নিয়ন্ত্রণ ভালো হয়, ত্রুটি কমে যায়, এবং প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়। শক্তি খরচও কমে যায়—কারণ ইনফ্রারেড দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়; ফলে বেকিং প্রক্রিয়া সংক্ষিপ্ত হয়, যা প্রতি ওয়েফারের খরচ কমায়।
ইনস্টলেশনের সময় কী করা দরকার? ইনস্টলেশনের সময় ওভেন চেম্বারের আকার ও ভোল্টেজ/কানেক্টরের অভিসার্স নিশ্চিত করা দরকার। উচ্চ-কারেন্ট প্রবাহের জন্য ২৪০ ভোল্ট সাধারণ। মডিউলটিকে পরিষ্কার, শুষ্ক পরিবেশে রাখা দরকার; আর মাউন্টিং ইন্টারফেসটিও ক্লিনরুম-উপযোগী হওয়া দরকার। কমিশনিং প্রক্রিয়াটি সংক্ষিপ্ত; কিন্তু এটা গুরুত্বপূর্ণ—কারণ এর মাধ্যমে এমিসিভিটি ও স্ক্যান স্পিড নিয়ন্ত্রণ করা হয়। একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে। কিন্তু মনে রাখবেন—প্রাথমিক সেটআপটি সহজ নয়।