http://ir-glass-heat.com/zh/tags/%E8%81%9A%E9%85%B0%E4%BA%9A%E8%83%BA/ Recent content in 聚酰亚胺 on Infrared Glass Heating Technology Hugo zh Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/zh/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/zh/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="聚酰亚胺烘烤红外灯"></p> <p>在线生产时钟不会等待任何人。一片300 mm的晶圆从涂布进入软烘烤，然后进入曝光阶段，而你在最初几分钟内设定的热预算决定了关键尺寸（CD）均匀性、侧壁角度，最终影响良率。当烘烤灯开始漂移，在整片晶圆上产生热点，或完全失效时，生产线停摆，排队积压，且每片晶圆的成本在第一个图案写入前就开始上升。</p>