http://ir-glass-heat.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Infrared Glass Heating Technology Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 07:07:43 +0800 http://ir-glass-heat.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:43 +0800 http://ir-glass-heat.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>请观察晶圆从清洗站出来时的状态。晶圆上不允许有水痕存在。光刻胶无法承受温度上的突然变化。如果干燥设备无法达到理想的温度，那么产品的合格率就会下降——这就需要重新加工，进而导致更多产品被报废。</p>