http://ir-glass-heat.com/zh/tags/%E5%AE%89%E5%85%A8/ Recent content in 安全 on Infrared Glass Heating Technology Hugo zh Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/zh/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/zh/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="晶圆加热的安全距离"></p> <p><a href="https://henruite.com">在光刻车间</a>中，光阻烘烤过程其实是一<a href="https://o-yate.net">个对温度控</a>制要求极高的工序。如果温度偏差达到10毫秒，或者加热器与晶圆之间<a href="https://goldisgood.com">的间距出现</a>1毫米的误差，那么就很容易导致图案变形、边缘缺陷，甚至使得整批产品无法使用。因此，为晶圆加热而设定的安全距离并非只是为了方便操作，而是为了确保产品的合格率以及设备的正常运行。</p> <p>我们设计的加热模块能够将加热区域与敏感的光学元件及晶圆保持一定的安全距离，同时确保热量能够均匀地传递到晶圆上。该系统能够将晶圆上的温度控制在±0.1°C的范围内，从而确保烘烤过程的稳定性，满足工艺要求。</p>