http://ir-glass-heat.com/vi/tags/saphia/ Recent content in Saphia on Infrared Glass Heating Technology Hugo vi Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/vi/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/vi/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Bộ gia nhiệt xử lý đế sapphire"></p> <p>Trên sàn sản xuất, tấm wafer sapphire 2 inch đang nằm dưới đường truyền lithography, chờ bước Soft Bake. Cần đạt 110°C trên toàn bộ bề mặt, không chỉ dựa vào nhiệt độ đọc từ thermocouple. Nhiệt độ thấp hơn sẽ làm biến dạng cấu hình photoresist. Nâng nhiệt độ cao hơn sẽ làm vượt quá ngân sách nhiệt.</p> <h2 id="điều-thực-sự-quan-trọng-về-mặt-kỹ-thuật">Điều thực sự quan trọng, về mặt kỹ thuật</h2> <p>Các bộ gia nhiệt dùng cho quá trình xử lý wafer sapphire là bộ phát hồng ngoại sóng ngắn (SWIR) bằng thạch anh. Chúng truyền nhiệt trực tiếp và nhanh chóng, với quán tính nhiệt rất thấp. Độ đồng đều ở cấp wafer giữ trong phạm vi ±0,1°C trên toàn bộ chuck, và tính lặp lại giữa các lần chuyển đổi nằm trong ±0,2°C.<br> Nền tảng tương thích với phòng sạch Class 1–100, và các bộ phận được lựa chọn sao cho không phát sinh hạt trong khi vận hành ổn định. Hệ thống đảm bảo độ tin cậy liên tục 24/7 mà không có thời gian chết không kế hoạch, và các profile nhiệt Soft Bake của <a href="https://henruite.com">photoresist</a> đủ ổn định để kiểm soát chính xác bề rộng đường mạch.</p>