Hãy ngừng lãng phí năng lượng vào việc sưởi ấm không khí đi: Có cách tốt hơn để xử lý các tấm wafer.
Hãy thành thật mà nói – các nhà máy chế tạo bán dẫn tiêu tốn rất nhiều năng lượng. Nếu xem xét nơi mà năng lượng đó được sử dụng, thì một phần lớn trong số đó bị lãng phí thành nhiệt lượng.
Trong nhiều năm qua, người ta vẫn sử dụng những lò sấy khổng lồ để sư�i ấm toàn bộ buồng xử lý. Nhưng vấn đề là: bạn phải chi rất nhiều tiền để làm nóng toàn bộ buồng – không khí, các bức tường, mọi thứ – chỉ để đưa tấm wafer đến nhiệt độ cần thiết. Điều này thật kém hiệu quả.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn sấy bằng tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng toàn bộ buồng, tia hồng ngoại truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt tấm wafer. Đây là cách hiệu quả hơn nhiều.
Tại sao vật lý lại quan trọng?
Chúng tôi chọn sóng hồng ngoại ngắn và trung bình vì chúng có khả năng xuyên qua các lớp vật liệu một cách nhanh chóng. So với không khí nóng, sóng hồng ngoại có khả năng xuyên qua các lớp vật liệu nhanh hơn nhiều.
Hãy tưởng tượng sự khác biệt về thời gian: thay vì phải chờ hàng giờ để lò sấy nóng lên, giờ đây bạn chỉ cần vài giây thôi. Điều này giúp giảm đáng kể lượng năng lượng tiêu thụ cho mỗi tấm wafer. Chúng tôi thiết kế các đèn sấy với mật độ công suất cao, để bạn có thể đạt được nhiệt độ cần thiết một cách nhanh chóng.
Lắp đặt vào nhà máy của bạn
Điều tuyệt vời nhất là phương pháp này giúp giảm lượng khí thải carbon của bạn. Bạn không còn phải lo lắng về việc mất nhiệt khi cố gắng giữ cho buồng xử lý ở nhiệt độ cao nữa.
Chúng tôi thiết kế các hệ thống này một cách đơn giản. Hầu hết chúng có thể thay thế ngay cho các bộ phận sưởi ấm cũ, vì vậy bạn không cần phải thay đổi toàn bộ cấu trúc nhà máy của mình.
Lưu ý: Hãy chú ý đến nguồn cung cấp điện. Các đèn hồng ngoại có công suất cao sẽ tiêu thụ rất nhiều điện năng. Nếu hệ thống điện của bạn không đủ khả năng đáp ứng demand điện năng này, bạn sẽ gặp vấn đề với các thiết bị điện trong nhà máy.
Thực tế là gì?
Tia hồng ngoại không phải là “phép màu”. Nó cũng có những hạn chế riêng.
Do nhiệt độ rất cao, nếu các đèn không được đặt đúng vị trí so với tấm wafer, bạn có thể gặp phải tình trạng “điểm nóng”. Bạn cần phải điều chỉnh góc độ và khoảng cách sao cho chính xác.
Để tránh tình trạng này, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng hệ thống kiểm soát nhiệt độ tự động. Điều này giúp bạn tránh việc xử lý quá mức tấm wafer, từ đó tránh làm hỏng chúng.
Ngoài ra, đừng chỉ để các đèn hoạt động ở mức 100% suốt thời gian. Nếu không có hệ thống làm mát phù hợp, các sợi dây tóc trong đèn sẽ bị cháy nhanh chóng. Mục tiêu là tìm ra sự cân bằng giữa tốc độ xử lý tấm wafer và khả năng của thiết bị.