لیتھوگرافی کے عمل میں، نرم درجہ حرارت میں تغیرات کسی واضح خرابی کی شکل میں ظاہر نہیں ہوتے۔ بلکہ یہ تغیرات لائنوں کی چوڑائی میں فرق، ریزسٹ میں موجود حل کی مقدار، اور چند گھنٹوں بعد پیدا ہونے والے فضلے کی صورت میں ظاہر ہوتے ہیں۔ ضرورت ایسے لیمپ کی ہے جو فوٹوریزسٹ کے لئے درکار درجہ حرارت کو برقرار رکھ سکے، چاہے یہ عمل بار بار دہرایا جائے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں: ہم نیرو-انفراریڈ (NIR) ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، جن کی سپیکٹرل آؤٹ پٹ ایسی ہے کہ یہ ریزسٹ کو تیزی سے اور یکساں طور پر گرم کرتا ہے؛ اس طرح فلم کی سطح اور نیچے کے حصوں کے درمیان درجہ حرارت میں فرق نہیں پڑتا۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جس سے چپ کی ساخت میں یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ یہ سسٹم مسلسل کام کرتا رہتا ہے، اور کسی قسم کے ذرات پیدا نہیں ہوتے؛ یہ کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روموں کے لئے موزوں ہے۔ آؤٹ پٹ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستحکم رہتا ہے، اور درجہ حرارت میں تغیر 5% سے کم ہوتا ہے۔ ہر بار عمل دہرانے پر درجہ حرارت کی سطح وہی رہتی ہے۔
پیداواری عمل میں اس کی اہمیت یہ ہے کہ اس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور آلودگی کا خطرہ بھی کم ہو جاتا ہے۔ بہتر درجہ حرارت کنٹرول سے ریزسٹ میں حل کی مقدار کنٹرول میں رہتی ہے، اور چپ کی ساخت میں یکسانیت برقرار رہتی ہے؛ اس طرح کٹنگ کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ NIR لیمپ براہ راست ریزسٹ کو گرم کرتا ہے، نہ کہ چیمبر کی دیواروں کو۔
اس سسٹم کو 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور اس کا درجہ حرارت کنٹرول عمل کے مطابق ہے؛ اس طرح لیتھوگرافی کا عمل بغیر کسی رکاوٹ کے جاری رہتا ہے۔
چند عملی نکات: NIR لیمپ کی شدت فاصلے کے ساتھ کم ہوتی جاتی ہے، اس لئے لیمپ اور ویفر کے درمیان فاصلہ کو انسٹالیشن کے وقت ہی طے کرنا ضروری ہے۔ استحکام حاصل کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے، اور لیمپ کی زندگی کے دوران منتظمانہ اقدامات ضروری ہیں تاکہ شیڈول میں کوئی تبدیلی نہ آئے۔ یقین کریں کہ یہ آلہ آپ کے کوٹر/ٹریک انٹرفیس سے مطابقت رکھتا ہے، اور لیمپ کے ردِعمل کے وقت کے مطابق بیک بیکنگ کی ترتیبات کو چیک کریں تاکہ عمل کے دوران کوئی مسئلہ نہ پیش آئے۔