دیکھیں کہ ویفر، رینس اسٹیشن سے باہر کیسے نکلتا ہے۔ اس پر کسی قسم کے پانی کے نشانات نہیں ہونے چاہئیں۔ فوٹوریزسٹ، حرارتی تغیرات کو برداشت نہیں کر سکتا۔ اگر ڈرائر مناسب درجہ حرارت فراہم نہ کر سکے، تو پروڈکشن متاثر ہو جاتی ہے؛ اس صورت میں دوبارہ کام کرنا پڑتا ہے، اور مزید پروڈکشن ویسٹ ہو جاتی ہے۔
تکنیکی طور پر، اس کے نیچے کیا ہے؟
ہم نے MEMS سینسر ویفروں کو خشک کرنے والے ہیٹر کو، تیز ردِعمل والے، کلین روم کے مطابق ڈیزائن کیے گئے ہیٹنگ عناصر اور کوارٹز پر مبنی حرارتی ڈیزائن کے ساتھ تیار کیا ہے۔ اس سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، تاکہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل بالکل درست طریقے سے انجام پائیں۔
ڈیزائن کے مطابق، کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا؛ سیل بند ڈھانچہ اور کم گیس خارج کرنے والے مواد کی وجہ سے، ذرات کی تعداد کلاس 1-100 کے اندر ہی رہتی ہے۔ کنٹرولر، درجہ حرارت کو بہت درست طریقے سے ریکارڈ کرتا ہے، جس سے پروسیس مستحکم رہتا ہے۔ توانائی کی کھپت کو بھی درست طریقے سے ناپا جاتا ہے؛ کم حرارتی ماس اور مؤثر انسولیشن کی وجہ سے، استحکام کو برقرار رکھتے ہوئے بجلی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔
اس کی اہمیت کیا ہے؟
MEMS میں، خشک کرنے کا عمل، بعد کے تمام لیتھوگرافی اور پیکیجنگ عملوں کے لئے بنیادی عنصر ہے۔ اس ہیٹر کی مدد سے، ویفر صاف ہو جاتا ہے؛ کوئی پانی کے نشانات نہیں رہتے، اور فوٹوریزسٹ کی سالمیت برقرار رہتی ہے۔
اس کے نتیجے میں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، خصوصیات پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، اور پروسیس کے اوقات بھی پیشن گوئی کے مطابق رہتے ہیں۔ یہ 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، تاکہ پروسیس مستحکم رہے، اور غیرمتوقع مسائل کم ہوں۔ جب حرارتی بجٹ محدود ہوتا ہے، تو یہ ہیٹر پروسیس کو معیار کے مطابق برقرار رکھتا ہے، بار بار۔
آپ کو کیا تیار کرنے کی ضرورت ہے؟
نصب کرنے کے لئے، ٹول پورٹ اور گیس لائن کے انٹرفیس کو مناسب طریقے سے جوڑنا ضروری ہے۔ ہم ابعاد اور فٹنگ کی تفصیلات فراہم کرتے ہیں، لیکن آپ کو پھر بھی اپنے ویٹ بینچ کے ڈیزائن کے مطابق چیک کرنا ہوگا۔
ہیٹر، مقرر کردہ درجہ حرارت تک جلدی پہنچ جاتا ہے، لیکن چیمبر اور کیریئر کو مزید کچھ وقت درکار ہے، تاکہ اسے استعمال کیا جا سکے۔ اسے کلین روم کے آلات کی طرح ہی استعمال کریں؛ گرم سطحوں کو ہاتھ نہ لگائیں، اور ESD اور آلودگی کو کنٹرول کریں۔
ریسیپیوں کو تبدیل کرنے کے لئے، تھوڑی ترتیب کی ضرورت ہے۔ ایک بار جب یہ ترتیب دے دیا جائے، تو پروسیس مستحکم ہو جاتا ہے، اور اس کی نگرانی بھی آسان ہو جاتی ہے۔