http://ir-glass-heat.com/uk/tags/bake/ Recent content in Bake on Infrared Glass Heating Technology Hugo uk Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Лампа для м якого випалювання фоторезисту"></p> <p>На літографічному покритті незначні коливання температури під час процедури випалювання не є серйозною проблемою. Вони проявляються у зміні ширини ліній, наявності розчинників у фотополімері, а також у появі дефектів через кілька годин після процедури. Щоб уникнути цього, потрібна лампа, яка буде підтримувати потрібний рівень температури фотополімера – це необхідно для кожного циклу обробки.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо випромінювачі у виді ближнього інфрачервоного світла, чия спектральна характеристика дозволяє ефективно та рівномірно нагрівати фотополімер. Це дозволяє уникнути різниці температур між поверхнею та нижньою частиною плівки. Рівномірність температури на всій поверхні плівки становить ±0,1°C, що забезпечує однакову в’язкість фотополімера та стабільність процесу нанесення покриття. Система може працювати безперервно протягом 5 000+ годин, з коливаннями інтенсивності світла менше 5%. Термічний профіль залишається стабільним у всіх партах.</p> http://ir-glass-heat.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Лампа для запікання спін котера"></p> <p>На поверсі літографії зсув температури випікання навіть на півградуса призводить до браку всієї партії пластин. Soft bake і hard bake — це не просто температурні цикли, це контроль розмірів. Якщо лампа не може підтримувати задану температуру по всій пластиці, однорідність CD руйнується, і вихід продукції знижується.</p> <p>Ми побудували лампу для випікання в спін-котері на основі кварцового галогенового джерела ближнього інфрачервоного спектра (NIR). Воно забезпечує швидку, прямолінійну теплову реакцію та стабільний випромінюваний потік. Система орієнтована на однорідність по пластиці в межах ±0.1°C, а повторюваність підтримує стабільне видалення розчинника від запуску до запуску.</p> http://ir-glass-heat.com/uk/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/uk/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Поліімідна інфрачервона пічна лампа"></p> <p>На виробничій лінії годинник нікого не чекає. Вафель 300 мм проходить від нанесення покриття до м’якого випікання, потім у експозицію, а тепловий бюджет, який ви задаєте в перші хвилини, визначає правила для однорідності CD, кута бокової стінки та, в кінцевому рахунку, виходу продукції. Коли випікальна лампа починає зміщуватися, створює гарячі плями по полю або зовсім виходить з ладу, лінія зупиняється, черга накопичується, і ваша собівартість за вафель зростає ще до нанесення першого патерну.</p> <p>Випікання полііміду зводиться до повторюваного нагріву. Потрібно «загнати» смолу у правильний температурний інтервал Tg без вибухового викиду розчинника, без утворення плівки на поверхні і без додавання часток. Інфрачервоне випромінювання забезпечує таке керування — швидке і стабільне — але лише якщо випромінювач, оптика та контур керування розглядаються як єдина теплова система, а не як коробка з прикріпленим нагрівачем.</p>