http://ir-glass-heat.com/uk/tags/%D0%B2%D1%96%D1%84%D0%BB%D0%B5%D1%94%D0%BC%D1%81%D1%8C%D0%BA%D0%B8%D0%B9-%D1%85%D0%BB%D1%96%D0%B1%D0%B5%D1%86%D1%8C/ Recent content in Віфлеємський Хлібець on Infrared Glass Heating Technology Hugo uk Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для видалення вологи з ваферів"></p> <p>На поверхні пластини волога, яка залишається після чищення, є справжнім проблемою. Вона проникає в фоторезист під час процедури нагрівання, що призводить до зміни критичних розмірів пластини та зниження її якості. Лампа для видалення вологи ефективно вирішує цю проблему – вона видаляє вологу з поверхні ще до того, як це може пошкодити структуру фоторезисту.</p> <p><strong>Що є важливим у конструкції лампи</strong><br> Ми створили лампу на основі короткохвильових галогенних емітерів, розташованих у кварцовому корпусі. Це дозволяє досягти швидкого нагрівання поверхні з мінімальною кількістю теплової енергії. Час досягнення потрібної температури становить кілька секунд, а єдність температури на всій поверхні пластини – ±0,1°C. Профіль променя підлаштовується під діаметр пластини та швидкість сканування, тож тепловий баланс залишається під контролем, а хімічна структура фоторезисту не порушується. Лампа також сумісна з умовами чистої кімнати: використовуються матеріали класу 1–100, корпус є герметичним, а під час безперервної роботи не утворюється жодних частинок.</p>