http://ir-glass-heat.com/tr/tags/yedekleme/ Recent content in Yedekleme on Infrared Glass Heating Technology Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 08:50:07 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/replacement-filament-for-fab-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:07 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/replacement-filament-for-fab-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Fab lambası için yedek filament"></p> <p>Üretim alanında, fotorezistin kullanıldığı işlemlerde litografi ve fırınlama adımları, sıcaklık değişikliklerine dayanamaz. Lambanın çıkış gücündeki birkaç derecelik bir değişiklik bile termal dengeyi bozar ve üretim süreci durur. Termal profilin sabit kalmasını sağlamak için bu yedek filamentler geliştirildi.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong> Bu filamentler, halojen lambaları için özel olarak tasarlanmıştır; dar geometriye sahip olup tekrarlanabilir bir şekilde çalışır. Kısa dalga ve orta dalga bölgesinde spektral stabilite sağlar; böylece waferin sıcaklığı her parti için ±0.1°C aralığında kalır. Birbirinden tutarlı emisyon değerleri, stabil direnç ve öngörülebilir ısınma davranışları sayesinde yumuşak ve sert fırınlama işlemleri standartlara uygun şekilde gerçekleşir. Bu filamentler, sınıf 1–100 temiz oda koşullarında kullanım için uygundur; başlatma veya çalışma sırasında düşük gaz salınımı ve parçacık oluşumu olmaz.</p>