Litoğrafi işlemlerinde, düşük sıcaklık farklılıkları ciddi bir sorun olarak ortaya çıkmaz. Bunlar, bant genişliğindeki değişiklikler, direnç...

Litografi katında, fırınlama sıcaklığında yarım derece kayma tüm wafer partisinin hurda olmasına neden olabilir. Soft bake ve hard bake sadece ısı...

Hat üzerinde saat kimseyi beklemez. 300 mm bir wafer, kaplama işleminden soft bake aşamasına, ardından pozlamaya akar ve ilk dakikalarda...