http://ir-glass-heat.com/tr/tags/mod%C3%BCl/ Recent content in Modül on Infrared Glass Heating Technology Hugo tr Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Fotorezist kurutma kızılötesi modülü"></p> <p>Lito zemin üzerinde, yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma “tolerans” olarak kabul edilmez; bu durumda waferyan işe yaramaz hale gelir. Fotoresistin kuruması, termal kontrolle doğru orantılıdır ve kızılötesi modül, verimin arttığı veya azaldığı noktadır.</p> <p><strong>Aslında önemli olan şeyler</strong><br> Biz, wafernin termal düzenliliğini ±0,1°C dahilinde tutan bir kızılötesi fotoresist kurutma modülü kullanıyoruz. Bu sayede fırınlama süreçleri her seferinde tekrarlanabilir oluyor. Emittör seçimi de dikkatlice yapılmıştır: Yakın kızılötesi ışık kullanılır, çünkü bu sayede hızlı tepki verilir ve spektral kontrol daha iyi sağlanır. Böylece termal gecikmeler ve aşırı ısınmalar önlenmiş olur. Sistem, Class 1–100 temiz odalar için tasarlanmıştır ve yerinde partikül izleme ile partikül üretiminin sıfır olması sağlanır. Sistem, <a href="https://o-yate.com">plans</a>ız kesintiler olmadan 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve servis süreleri de üretim değişikliklerine göre ayarlanmıştır.</p>