http://ir-glass-heat.com/tr/tags/kald%C4%B1rma/ Recent content in Kaldırma on Infrared Glass Heating Technology Hugo tr Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Wafer nem giderme lambası"></p> <p>Üretim alanında, temizleme işlemlerinden sonra kalan nem sadece rahatsız edici bir durum değildir. Bu nem, yumuşak fırınlamalar sırasında fotoresisti etkiler, kritik ölçümleri bozar ve verim kaybına neden olur. Waferdeki nemi gideren lamba, litografi işlemi başlamadan önce yüzeydeki nemi ortadan kaldırır.</p> <p><strong>Arka plandaki önemli faktörler</strong><br> Lambayı, kuvars kaplamalı kısa dalga boylu halojen lambalar <a href="https://henruite.com">kullanarak</a> tasarladık. Amaç, minimum ısıl kütleyle hızlı ve yerel ısıtma sağlamaktır. Böylece hedef sıcaklığa hızlıca ulaşılır, yanıt süresi saniyenin altındadır ve wafer üzerindeki sıcaklık farkı ±0,1°C içinde kalır. Işın profili, waferin çapına ve tarama hızına göre ayarlanır; böylece ısıl dengesi korunur ve fotoresistin kimyasal yapısı bozulmaz. Temiz oda uyumluluğu da sağlanmıştır: Sınıf 1–100 standardlarına uygun malzemeler, mühürlü kutular ve sürekli çalışma sırasında hiçbir parçacık üretilmez.</p>