http://ir-glass-heat.com/tr/tags/fotorezist/ Recent content in Fotorezist on Infrared Glass Heating Technology Hugo tr Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Fotorezist yumuşatma fırını lambası"></p> <p>Litoğrafi işlemlerinde, düşük sıcaklık farklılıkları ciddi bir sorun <a href="https://goldisgood.com">olarak</a> ortaya çıkmaz. Bunlar, bant genişliğindeki değişiklikler, direnç malzemesinde kalan çözücüler ve işlem sonrasında ortaya çıkan atık malzemeler şeklinde kendini gösterir. İhtiyacınız olan şey, foto direncin termal durumunu, reçetede <a href="https://o-yate.net">belirtilen</a> değerlerde tutan bir lambadır – döngüden döngüye böyle devam eder.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong> Yakın kızılötesi (NIR) vericiler kullanılır; bu vericilerin spektral çıktısı, direnç malzemesini hızlı ve eşit bir şekilde ısıtabilir. Böylece filmin yüzeyi ile alt kısmı arasında sıcaklık farkı oluşmaz. Wafer seviyesindeki tutarlılık, ısıtma bölgesinde ±0,1°C civarındadır. Bu da tekrarlanabilir viskozite ve tutarlı kaplama performansı anlamına gelir. <a href="https://henruite.com">Sistem</a> sürekli olarak çalışır ve hiçbir parça üretmez; bu sayede sınıf 1’den sınıf 100’e kadar olan tüm temiz oda koşullarına uygun olur. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır; yoğunluk değişimi %5’in altındadır ve termal profil her parti için aynı kalır.</p> http://ir-glass-heat.com/tr/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/tr/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Fotorezist kurutma kızılötesi modülü"></p> <p>Lito zemin üzerinde, yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma “tolerans” olarak kabul edilmez; bu durumda waferyan işe yaramaz hale gelir. Fotoresistin kuruması, termal kontrolle doğru orantılıdır ve kızılötesi modül, verimin arttığı veya azaldığı noktadır.</p> <p><strong>Aslında önemli olan şeyler</strong><br> Biz, wafernin termal düzenliliğini ±0,1°C dahilinde tutan bir kızılötesi fotoresist kurutma modülü kullanıyoruz. Bu sayede fırınlama süreçleri her seferinde tekrarlanabilir oluyor. Emittör seçimi de dikkatlice yapılmıştır: Yakın kızılötesi ışık kullanılır, çünkü bu sayede hızlı tepki verilir ve spektral kontrol daha iyi sağlanır. Böylece termal gecikmeler ve aşırı ısınmalar önlenmiş olur. Sistem, Class 1–100 temiz odalar için tasarlanmıştır ve yerinde partikül izleme ile partikül üretiminin sıfır olması sağlanır. Sistem, <a href="https://o-yate.com">plans</a>ız kesintiler olmadan 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve servis süreleri de üretim değişikliklerine göre ayarlanmıştır.</p>