Neden kurşunsuz yarı iletkenler için kızılötesi teknolojisini kullanıyoruz?
Yarı iletken sektörü, “kurşunsuz” ve “sıfır emisyonlu” bir üretim yöntemine doğru ilerliyor. Dürüst olmak gerekirse, artık bunun zamanı geldi. Yıllardır devasa konveksiyon fırınlarına bağımlı kaldık. Bu fırınlar aslında sadece havayı ısıtıyor; bu da enerji israfı anlamına gelir. En kötüsü de, küçük parçacıkların waferlere bulaşma riskidir.
İşte bu yüzden kızılötesi teknolojisini kullanıyoruz. Kızılötesi teknolojisi, havayı ısıtmak yerine elektromanyetik radyasyon kullanarak doğrudan yüzeye enerji iletimi sağlar. Aracı yoktur; sadece doğrudan enerji uygulanır.
Kızılötesi enerjisinin cazibesi
İşleyiş şekli şöyledir: Yayıcının dalga boyunu, kullandığınız kaplama veya direnç türüne göre ayarlıyoruz. Kurşunsuz sistemlerde ise kısa dalga ve orta dalga kızılötesi teknolojileri kullanılır. Bu sayede polimerizasyon ve çözücülerin buharlaşması hızlanır. Gerçekten çok hızlı bir şekilde…
Bir konveksiyon fırınının ısıya ulaşması dakikalar alırken, kızılötesi sistemler saniyeler içinde hedefe ulaşır. Bu da üretim sürecinin ritmini tamamen değiştirir.
Temizlik ve soğutma
Bu sistemlerin temiz bir ortamda çalışması gerektiğinden, ısıtıcılar yüksek kaliteli paslanmaz çelikten yapılmıştır. Kaplama malzemelerinden uzak duruyoruz; çünkü bunlar dökülme veya gaz salımı yapabilir ve bu da wafer kalitesi açısından sorun yaratır. Ayrıca paslanmaz çelik, kızılötesi radyasyonu tekrar iş parçasına yansıtır; böylece ısı kaybı olmaz.
Ancak bir dezavantajı var: Yüksek yoğunluklu kızılötesi sistemler son derece sıcak olabilir. Eğer hava akışı doğru ayarlanmazsa, ısıtıcı bozulabilir veya tüm sistem kendini korumak için kapanabilir. Bunu önlemek için genellikle ısıtıcının arkasına zorlanmış hava soğutması eklenir. Bu sayede yapı stabil kalır ve donanım zarar görmez.
Gezegen için daha iyi, maliyet açısından da daha iyi
Kurşun ve VOC’leri ortadan kaldırmaya çalışırken dikkatli olmak gerekir. Aşırı ısıtma, ürünlerin bozulmasına neden olur. Kızılötesi teknolojinin avantajı, bölgesel ısıtma imkanı sunmasıdır. Böylece büyük bir fırını ısıtmak zorunda kalmadan, sadece belirli bir bölgeyi ısıtabilirsiniz. Bu da her wafer için harcanan enerji miktarını önemli ölçüde azaltır.
ISO 14001 standartlarına ulaşmak için bu çok daha kolay bir yol. Artık devasa sıcak fırınların verimsizliğiyle uğraşmak zorunda değilsiniz; enerjiyi tam da gereken yerde kontrol edebilirsiniz.