Isı kaybını durdurun: Waferleri kurutmak için daha iyi bir yol
Dürüst olalım; yarı iletken üretim tesisleri gerçekten de büyük enerji tüketicileridir. Tüketilen tüm enerjinin büyük bir kısmı sadece ısı üretmek için harcanıyor.
Yıllardır kullanılan yöntem, devasa konveksiyon fırınlarıdır. Ancak burada sorun şu: Waferin doğru sıcaklığa ulaşması için tüm oda – hava, duvarlar ve her şey – ısıtılıyor. Bu oldukça verimsiz bir yöntemdir.
Bu yüzden bizler kızılötesi ışık lambalarını tercih ediyoruz. Kızılötesi ışıklar, odayı ısıtmak yerine enerjiyi doğrudan waferin üzerine gönderir. Bu sayede daha etkili bir şekilde kurutma işlemi gerçekleştirilebilir.
Fizik kurallarının neden önemli olduğu
Kısa dalga ve orta dalga kızılötesi ışıkları tercih ediyoruz; çünkü bunlar daha etkilidir. Bu dalga boyları, sıcak hava ile kıyaslandığında çok daha hızlı bir şekilde foto direnç ve yapıştırıcı katmanlarını deler.
Zaman farkını düşünün: Fırının ısınmasını beklemek yerine, işlem saniyeler içinde tamamlanır. Bu da her wafer başına harcanan enerjinin azalmasını sağlar. Lambalarımız yüksek güç yoğunluğuna sahip olduğundan, kurutma sıcaklığına neredeyse anında ulaşılabilir.
Üretim tesisinize nasıl entegre edilir?
En iyi yanı ise bu yöntemin karbon ayak izinizi azaltmasıdır. Devasa metal kutuları ısıtmak için harcanan enerji artık gerekmiyor.
Bu sistemler basit bir şekilde tasarlanmıştır. Çoğu zaman eski ısıtıcıların yerine kullanılabilir; böylece tesisinizin yapısal yapısını değiştirmenize gerek kalmaz.
Bir uyarı: Güç kaynağınıza dikkat edin. Yüksek güçlü kızılötesi lambalar çok fazla elektrik tüketir. Eğer elektrik panelleriniz bu ani yüklenmelere dayanamıyorsa, sürekli olarak sigortalar atacaktır.
Gerçekler
Kızılötesi ışıklar sihirli değildir; bazı dezavantajları vardır. Isı çok yoğun olduğundan, lambalar waferle mükemmel şekilde hizalanmazsa “sıcak noktalar” oluşabilir. Açı ve mesafe konusunda hassas olmak gerekir.
Her şeyin kontrolden çıkmasını önlemek için kapalı döngüli pirometre kontrolü kullanılmasını öneriyoruz. Böylece aşırı kurutma sonucu ürünlerin zarar görmesi engellenir.
Ayrıca, lambaları %100 kapasiteyle çalıştırıp sonra unutmamak gerekir. Lambaların soğutulmaması durumunda filamlar çok hızlı yanar. Önemli olan, waferlerin ne kadar hızlı hareket etmesi istendiği ile donanımın ne kadar dayanabileceği arasındaki dengeyi bulmaktır.