http://ir-glass-heat.com/th/tags/%E0%B9%82%E0%B8%9E%E0%B8%A5%E0%B8%B4%E0%B8%AD%E0%B8%B4%E0%B8%A1%E0%B8%B2%E0%B8%A2%E0%B8%94%E0%B9%8C/ Recent content in โพลิอิมายด์ on Infrared Glass Heating Technology Hugo th Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/th/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/th/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="หลอดอินฟราเรดอบโพลิอิมายด์"></p> <p>บนสายการผลิต เวลาไม่เคยรอใคร เวเฟอร์ขนาด 300 mm เคลื่อนจากขั้นตอนเคลือบสู่การอบแบบนุ่ม จากนั้นเข้าสู่ขั้นตอนการเปิดรับแสง และงบประมาณความร้อนที่คุณตั้งไว้ในนาทีแรกเหล่านั้นจะกำหนดกฎเกณฑ์สำหรับความสม่ำเสมอของขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง (CD) มุมผนังด้านข้าง และผลผลิตโดยรวม เมื่อหลอดไฟอบเริ่มเลื่อนตำแหน่ง เกิดจุดร้อนกระจายทั่วพื้นที่ หรือดับลงโดยสิ้นเชิง สายการผลิตจะหยุดค้าง แถวงานจะสะสม และต้นทุนต่อเวเฟอร์จะเพิ่มขึ้นก่อนที่ลายแพตเทิร์นแรกจะถูกเขียน</p> <p>การอบโพลิอิไมด์ขึ้นอยู่กับความร้อนที่ทำซ้ำได้ คุณต้องผลักดันเรซินเข้าสู่ช่วงอุณหภูมิแก้วเปลี่ยนแปลง (Tg) ที่เหมาะสมโดยไม่เกิดการระเบิดของตัวทำละลาย ไม่มีการเกิดผิวหนัง และไม่มีการเพิ่มของอนุภาค อินฟราเรดสามารถควบคุมได้อย่างรวดเร็วและเสถียร แต่ต้องให้ความสำคัญกับการออกแบบระบบความร้อนที่ประกอบด้วยตัวปล่อยแสง (emitter) ระบบเลนส์ (optics) และวงจรควบคุมอย่างครบถ้วน ไม่ใช่แค่กล่องที่ติดฮีตเตอร์เพิ่มเข้าไปเท่านั้น</p> <h2 id="สงทสำคญจรงๆ-ใตฝากระโปรง">สิ่งที่สำคัญจริงๆ ใต้ฝากระโปรง</h2> <p>เราออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับอบโพลิอิไมด์โดยใช้ตัวปล่อยแสงใกล้อินฟราเรด (NIR) ที่เข้ากันได้กับการดูดซับพลังงานของโพลิอิไมด์และโฟโต้เรซิสท์ สเปกตรัมถูกปรับแต่งให้ความร้อนแทรกซึมอย่างรวดเร็วและทั่วถึงในปริมาตร โดยไม่ให้ความร้อนเกินที่ผิวเวเฟอร์ ความยาวคลื่นสูงสุดอยู่ในช่วง 0.7–1.2 μm เพื่อให้การบ่มเกิดขึ้นผ่านฟิล์ม ไม่ใช่แค่การเผาผิวยอดเท่านั้น</p> <p>ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิถูกกำหนดไว้ที่ ±0.1°C ทั่วระนาบเวเฟอร์ วัดที่วัสดุรองรับเวเฟอร์ (substrate) โดยตรง ไม่ใช่ประเมินจากผนังห้อง ความแม่นยำนี้สำคัญเพราะความต่างอุณหภูมิ (ΔT) ทั่วพื้นที่ส่งผลโดยตรงต่อความต่างของขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง (ΔCD) บนได (die) ถ้ารักษาช่วง ±0.1°C นี้ได้ ความแปรผันของความกว้างเส้นจะลดลง ความเอนเอียงของขนาดจะน้อยลง และรูปทรงผนังด้านข้างจะคงที่ทั่วทั้งขอบ</p> <p>ความสามารถในการทำซ้ำอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.5°C ในแต่ละรอบการทำงาน วันต่อวัน และปีต่อปี ระบบควบคุมแบบวงปิดใช้เซนเซอร์ความละเอียดสูงที่ระนาบเวเฟอร์ ซึ่งได้รับการสอบเทียบตามมาตรฐาน NIST การควบคุมพลังงานของหลอดไฟใช้ PID ควบคุมในระดับมิลลิวินาที เพื่อลดการเลื่อนตำแหน่งของอุณหภูมิระหว่างอบ และการตั้งค่าอุณหภูมิจะกลับสู่ค่าที่กำหนดทันทีที่เวเฟอร์เคลื่อนที่</p> <p>การไม่ก่อให้เกิดอนุภาคเป็นข้อกำหนดทางวิศวกรรม ไม่ใช่แค่คำโฆษณา ตัวเรือนหลอดไฟถูกปิดผนึก และเส้นทางแสงใช้วัสดุที่เหมาะกับห้องสะอาด (cleanroom) ตัวปล่อยแสงทำงานในสภาวะสะอาด ไม่มีไส้หลอดเปิด หรือการปล่อยก๊าซในระหว่างอบ ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 จำนวนอนุภาคยังคงอยู่ในข้อกำหนด เนื่องจากหลอดไฟเองไม่ใช่แหล่งกำเนิด</p>