http://ir-glass-heat.com/th/tags/%E0%B9%81%E0%B8%8B%E0%B8%9F%E0%B9%84%E0%B8%9F%E0%B8%A3%E0%B9%8C/ Recent content in แซฟไฟร์ on Infrared Glass Heating Technology Hugo th Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/th/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/th/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="เครื่องทำความร้อนสำหรับแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์"></p> <p>บนพื้นโรงงาน เวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 2 นิ้ววางอยู่ใต้เครื่องลิโธกราฟี รอการทำ Soft Bake คุณต้องการอุณหภูมิ 110°C ครอบคลุมทั้งพื้นผิว ไม่ใช่แค่ค่าที่เทอร์โมคัปเปิลวัดได้ ต่ำกว่านี้โปรไฟล์โฟโตเรซิสต์จะเปลี่ยนไป หากเพิ่มขึ้นสูงกว่านี้จะส่งผลต่อข้อจำกัดด้านความร้อน</p> <h2 id="สงทสำคญในทางเทคนคจรง-ๆ">สิ่งที่สำคัญในทางเทคนิคจริง ๆ</h2> <p>ฮีตเตอร์ที่ใช้สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์แซฟไฟร์เป็นตัวปล่อยรังสีอินฟราเรดช่วงคลื่นสั้น (SWIR) ชนิดควอตซ์ ให้ความร้อนโดยตรงและรวดเร็ว มีความเฉื่อยทางความร้อนต่ำมาก ความสม่ำเสมอบนเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วทั้งชัค และความสม่ำเสมอระหว่างรอบการผลิตอยู่ในช่วง ±0.2°C<br> แพลตฟอร์มนี้สามารถใช้งานในห้องคลีนรูมคลาส 1–100 ได้ ชิ้นส่วนที่เลือกใช้ถูกออกแบบให้ไม่มีการเกิดฝุ่นในระหว่างการทำงานที่เสถียร คุณจะได้ความน่าเชื่อถือ 24/7 ไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่ตั้งใจ และโปรไฟล์การอบโฟโตเรซิสต์สามารถทำซ้ำได้เพื่อควบคุมขนาดเส้นได้อย่างแม่นยำ</p> <h2 id="เหตผลทวธนเหมาะกบแซฟไฟร">เหตุผลที่วิธีนี้เหมาะกับแซฟไฟร์</h2> <p>ในขั้นตอนการอบแห้งเวเฟอร์ พลังงาน SWIR จะช่วยลดความตึงผิวทันที ทำให้ขั้นตอนการอบแห้งเสร็จเร็วขึ้นโดยไม่ทิ้งรอยน้ำ ในการประมวลผลโฟโตเรซิสต์ ฮีตเตอร์เดียวกันใช้ทั้ง Soft Bake และ Hard Bake ภายใต้การควบคุมอุณหภูมิที่เข้มงวด เพื่อให้การยึดเกาะและความโค้งคงที่ทั่วชุดผลิต<br> ส่งผลให้รอบเวลาการผลิตเร็วขึ้น ใช้พลังงานต่อเวเฟอร์ต่ำลง และจำนวนงานแก้ไขซ้ำลดลง ในกรณีของวัสดุแซฟไฟร์ การตอบสนองความร้อนมีความเสถียรพอที่จะปกป้องโครงสร้างผลึกพร้อมกับกำจัดตัวทำละลายและเซ็ตโฟโตเรซิสต์ตามที่ต้องการ</p> <h2 id="รายละเอยดปฏบตทไมควรละเลย">รายละเอียดปฏิบัติที่ไม่ควรละเลย</h2> <p>ฮีตเตอร์สามารถติดตั้งได้อย่างเรียบร้อย แต่ต้องมีการจ่ายไฟแยกเฉพาะ และการติดตั้งต้องสะอาดพร้อมลดการสั่นสะเทือนให้น้อย เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ มีช่วงเวลาทำความร้อนก่อนที่อุณหภูมิจะนิ่งและคงที่<br> ควรวางแผนส่วนติดต่อชัคอย่างละเอียด ต้องจับคู่รูปทรงหลุมและค่าการแผ่รังสีของแซฟไฟร์เพื่อให้ค่าที่วัดได้ในกระบวนการผลิตตรงตามความเป็นจริง</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/9GIuZPliHzM?feature=oembed" title="เครื่องทำความร้อนสำหรับแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://o-yate.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://goldisgood.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>