บนพื้นผิวที่ใช้ในการถ่ายภาพ ความผันผวนของอุณหภูมิระหว่างการอบไม่ได้แสดงออกมาในรูปแบบของข้อบกพร่องที่ชัดเจน...

บนชั้นลิโทกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอบเพียงครึ่งองศาก็เพียงพอที่จะทำให้ต้องทิ้งเวเฟอร์ล็อตทั้งหมด การอบแบบ soft bake และ hard bake...

บนสายการผลิต เวลาไม่เคยรอใคร เวเฟอร์ขนาด 300 mm เคลื่อนจากขั้นตอนเคลือบสู่การอบแบบนุ่ม จากนั้นเข้าสู่ขั้นตอนการเปิดรับแสง...