ในโรงงานผลิตชิปนั้น การอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่ขั้นตอนที่สามารถข้ามไปได้ เพราะเป็นข้อกำหนดที่จำเป็นต้องปฏิบัติตาม แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนไป และส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิตได้ เราจึงออกแบบเครื่องอบสำหรับห้องปฏิบัติการผลิตชิปขึ้นมาเพื่อรองรับสถานการณ์เหล่านี้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ก็คือความแม่นยำของรังสีอินฟราเรด เครื่องอบของเราสามารถสร้างสนามความร้อนที่สม่ำเสมอในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของวัสดุโฟโตรีซิสต์มีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C นี่ไม่ใช่เพียงแค่การใช้พลังงานมากเท่านั้น แต่ยังเกี่ยวข้องกับการควบคุมสเปกตรัมแสงและรูปร่างของตัวสะท้อนแสงอีกด้วย
ผลลัพธ์ที่ได้คือการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ที่มีความสม่ำเสมอในแต่ละรอบการอบ ในทางปฏิบัติ นั่นหมายถึงการไหลของวัสดุโฟโตรีซิสต์ที่สามารถคาดเดาได้ ความกว้างของเส้นที่สามารถควบคุมได้ และอุณหภูมิที่คงที่
เหตุใดเครื่องอบนี้จึงสามารถใช้งานได้จริงในโรงงานผลิตชิป เครื่องอบนี้สามารถนำมาใช้งานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 ได้เลย การไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เป็นสิ่งสำคัญมาก ดังนั้นเครื่องอบนี้จึงมีการออกแบบมาให้มีซองควอตซ์ที่ปิดสนิท และมีอุปกรณ์ที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซออกมา เพื่อให้ปริมาณอนุภาคอยู่ในระดับต่ำ
ความน่าเชื่อถือของเครื่องอบนี้สามารถวัดได้จากระยะเวลาการทำงาน โดยเครื่องอบนี้สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพการทำงานน้อยกว่า 5% เท่านั้น ดังนั้นคุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องความเสียหายของเครื่องอบอีกต่อไป และสามารถมุ่งเน้นไปที่ความเสถียรของกระบวนการผลิตได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะเครื่องอบนี้ใช้รังสีอินฟราเรดในการให้ความร้อนแก่วัสดุโฟโตรีซิสต์ ไม่ใช่ผนังของห้องอบ
สิ่งที่ควรระวังขณะติดตั้ง การติดตั้งเครื่องอบนี้ค่อนข้างง่าย แต่สิ่งที่สำคัญคือการเชื่อมต่อทางความร้อนระหว่างเครื่องอบกับห้องอบ โดยเครื่องอบจำเป็นต้องมีระยะห่างและการจัดวางที่เหมาะสมกับห้องอบ มิฉะนั้นจะเกิดจุดร้อนขึ้นได้
คาดว่าจะต้องใช้เวลาสักพักกว่าจะถึงอุณหภูมิที่ต้องการ ดังนั้นควรวางแผนการใช้งานโดยคำนึงถึงช่วงเวลา 30 วินาทีที่ใช้ในการปรับอุณหภูมิ และแม้ว่าเครื่องอบนี้จะสามารถใช้งานกับเตาอบแบบต่างๆ ได้ แต่การปรับเปลี่ยนเตาอบเก่าๆ อาจต้องมีการปรับเปลี่ยนอินเตอร์เฟซการควบคุมเล็กน้อย เรามีข้อมูลเกี่ยวกับอินเตอร์เฟซการควบคุมไว้ล่วงหน้า เพื่อให้ไม่มีปัญหาใดๆ เกิดขึ้น