ลองดูวิดีโอที่แสดงให้เห็นว่าแผ่นวัสดุถูกนำออกมาจากสถานีล้างน้ำ ไม่ควรมีรอยน้ำหรือคราบน้ำใดๆ เลย สารโฟโตรีซิสต์จะทนต่อความร้อนที่เปลี่ยนแปลงไปได้ไม่ดี หากเครื่องอบไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างถูกต้อง ก็จะส่งผลให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ลดลง และต้องมีการแก้ไขอีกครั้ง หรือต้องทิ้งชุดผลิตภัณฑ์นั้นไป
ในแง่เทคนิคแล้ว… เราออกแบบเครื่องอบสำหรับแผ่นวัสดุ MEMS โดยใช้องค์ประกอบการให้ความร้อนที่มีความไวสูง และเหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องผลิตที่มีความสะอาดสูง รวมถึงการออกแบบระบบควบคุมอุณหภูมิที่ใช้ควอตซ์เป็นส่วนประกอบหลัก ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิในพื้นที่ที่มีการประมวลผลอยู่อยู่ในช่วง ±0.1°C เท่านั้น ทำให้กระบวนการอบสามารถดำเนินไปได้อย่างถูกต้องตามขั้นตอนที่กำหนด
การเกิดอนุภาคใดๆ ถูกกำจัดไปโดยออกแบบมาให้ไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย ด้วยโครงสร้างที่ปิดสนิท และวัสดุที่มีคุณสมบัติกันการปล่อยก๊าซ ทำให้อนุภาคอยู่ในระดับ Class 1–100 เท่านั้น ตัวควบคุมอุณหภูมิจะบันทึกค่าอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยให้กระบวนการมีความเสถียรมากขึ้น และช่วยให้สามารถควบคุมค่าต่างๆ ได้อย่างดี การใช้พลังงานก็ถูกวัดได้อย่างแม่นยำ โดยไม่ต้องคาดเดา การใช้พลังงานที่น้อยลง รวมถึงการใช้ฉนวนกันความร้อนที่มีประสิทธิภาพ ช่วยให้สามารถลดการใช้พลังงานได้ โดยไม่ส่งผลต่อความเสถียรของกระบวนการ
ทำไมสิ่งนี้จึงมีความสำคัญ? ในกระบวนการผลิต MEMS ขั้นตอนการอบเป็นขั้นตอนสำคัญที่กำหนดมาตรฐานสำหรับขั้นตอนอื่นๆ ที่ตามมา ด้วยเครื่องอบนี้ คุณจะสามารถอบแผ่นวัสดุได้อย่างสะอาด โดยไม่มีรอยน้ำหรือคราบน้ำใดๆ และยังช่วยรักษาคุณภาพของสารโฟโตรีซิสต์ไว้ได้ โดยการควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม
ผลลัพธ์ที่ได้คือ มีการแก้ไขขั้นตอนการผลิตน้อยลง มีการควบคุมขนาดของผลิตภัณฑ์ได้อย่างดี และเวลาในการผลิตก็สามารถคาดเดาได้ อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 ดังนั้นเวลาการทำงานจึงมีความเสถียร และการหยุดทำงานโดยไม่ได้กำหนดเวลาก็จะเกิดขึ้นน้อยลง เมื่อคุณมีข้อจำกัดด้านพลังงาน อุปกรณ์นี้จะช่วยให้กระบวนการผลิตยังคงอยู่ในมาตรฐานที่กำหนดไว้ได้
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ การติดตั้งอุปกรณ์นี้ต้องมีการปรับให้ตรงกับพอร์ตเชื่อมต่อของเครื่องมือ และท่อส่งก๊าซ เรามีข้อมูลเกี่ยวกับขนาดและมาตรฐานการเชื่อมต่อให้ แต่คุณยังต้องตรวจสอบความเหมาะสมกับโครงสร้างของห้องผลิตด้วย
เครื่องอบนี้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว แต่ห้องอบและวัสดุที่ใช้ในการอบยังต้องใช้เวลาสักพักเพื่อให้อุณหภูมิสม่ำเสมอก่อนที่จะสามารถใช้งานได้อย่างเต็มประสิทธิภาพ ควรปฏิบัติกับอุปกรณ์นี้เหมือนกับอุปกรณ์ในห้องผลิตที่มีความสะอาดสูง คือไม่ควรสัมผัสพื้นผิวที่มีความร้อน และต้องปฏิบัติตามมาตรการป้องกันการเกิดฝุ่นและสิ่งปนเปื้อนด้วย
การเปลี่ยนขั้นตอนการผลิตก็สามารถทำได้อย่างรวดเร็ว เมื่อปรับแต่งเสร็จแล้ว กระบวนการผลิตก็จะสามารถทำซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ และสามารถตรวจสอบได้ด้วย