http://ir-glass-heat.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Infrared Glass Heating Technology Hugo ru Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Модуль инфракрасного осушения фотополимера"></p> <p>На литографическом столе допуск в размере полуградуса при процедуре нагрева не является приемлемым значением. Это означает, что такая пластина считается бракованной. Сушка фоторезиста зависит от температурных условий; инфракрасный модуль играет ключевую роль в обеспечении стабильности процесса производства.</p> <p><strong>Что на самом деле имеет значение</strong> Мы используем инфракрасный модуль для сушки фоторезиста, который сохраняет температурную однородность на уровне ±0,1°C. Это позволяет сохранять стабильность параметров процесса нагрева при производстве разных партий продукции. Выбор типа излучателя осуществляется умышленно: используется ближний инфракрасный спектр, так как он обеспечивает быструю реакцию и точный контроль спектра излучения. Это помогает избежать задержек и перегрева. Система разработана для использования в чистых помещениях класса 1–100; она предназначена для минимизации образования частиц, что подтверждается контролем за количеством частиц в процессе работы. Система может работать круглосуточно без простоев, а время обслуживания совпадает с временем смены продукции.</p> http://ir-glass-heat.com/ru/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Mon, 01 Jun 2026 20:24:33 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Подогреватель для удаления фоторезиста"></p> <p>На литографическом этаже остановка нагревателя опоры во время снятия фоторезиста приводит к полной остановке линии. Пластины начинают накапливаться с остатками, брак растёт, и планировщик оказывается в затруднительном положении. Требуется терморегулирование, которое не вызывает проблем.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Наши нагреватели опоры для снятия фоторезиста поддерживают равномерность температуры на уровне пластины в пределах ±0,1°C по всей активной зоне и обеспечивают стабильность установленной температуры в течение процессов запекания и снятия. Кварцевые элементы и управляемые пути коротковолнового инфракрасного излучения нагревают только целевую область, исключая тепловое воздействие на крепления камеры.</p>