http://ir-glass-heat.com/ru/tags/%D1%81%D0%B0%D0%BF%D1%84%D0%B8%D1%80/ Recent content in Сапфир on Infrared Glass Heating Technology Hugo ru Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Печь для обработки сапфировых пластин"></p> <p>На производственном участке 2-дюймовый сапфировый вафер установлен под литографической системой, ожидая этап Soft Bake. Температура должна составлять 110°C по всей поверхности, а не только по показаниям термопары. Если она ниже — профиль фоторезиста смещается. Если выше — происходит перерасход теплового бюджета.</p> <h2 id="что-действительно-важно-с-технической-точки-зрения">Что действительно важно с технической точки зрения</h2> <p>Нагреватели, используемые для обработки сапфировых ваферов, представляют собой кварцевые излучатели коротковолнового инфракрасного диапазона (SWIR). Они быстро и напрямую подают тепло, обладая минимальной тепловой инерцией. Однородность температуры на уровне вафера сохраняется в пределах ±0.1°C по всей площадке закрепления, а повторяемость межсменных настроек находится в диапазоне ±0.2°C.</p>