http://ir-glass-heat.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8F%D0%B3%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Мягкий on Infrared Glass Heating Technology Hugo ru Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/ru/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Лампа для мягкой обработки фотополимера"></p> <p>На литографическом столе незначительные колебания температуры не приводят к серьезным сбоям. Они проявляются в изменении ширины линий, наличии растворителей в фоторезисте, а также в появлении бракованных участков через несколько часов после обработки. Необходимо использовать устройство, которое будет поддерживать температуру фоторезиста в заданном диапазоне на протяжении всего процесса обработки.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения</strong></p> <p>Мы используем излучатели в диапазоне ближнего инфракрасного света, спектральный профиль излучения которых позволяет быстро и равномерно нагревать фоторезист. Это предотвращает разницу температур между поверхностью и нижней частью пленки. Равномерность температуры на всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, что обеспечивает однородную вязкость фоторезиста и стабильное его действие при нанесении. Система может работать непрерывно без образования частиц; она соответствует требованиям чистых помещений от класса 1 до класса 100. Интенсивность излучения остается стабильной в течение более 5000 часов, с отклонением менее 5%. Тепловой профиль остается неизменным от партии к партии.</p>